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TopWave 266工业级连续波 UV 激光
Ø150/300 mW @ 266 nm
Ø优异的寿命表现(> 10000 小时)
Ø在整个寿命期间保持光束质量一致(M² < 1.3)
Ø配备自动晶体移位器的密封倍频腔
Ø超稳定,低噪音连续操作,交钥匙系统
TopWave 266工业级连续波 UV 激光深紫外激光系统在266nm波长处提供300mW输出功率,它具有出色的功率稳定性及高的可靠性。该系统将一套完整的紫外光路(包括共振倍频腔)密封于单独模块内。结合倍频晶体的全自动位移器,系统典型寿命> 10,000小时,这对于任何工业应用都十分关键。通过优化光束整形设置,系统能保持光束质量的一致性,这套整形装置也集成在密封的UV模块里。为了避免在非超净室环境中输出光窗的污染,用户可将吹扫管线连接到所提供的接口。
TopWave 266在低噪音操作方面设定了新的标准。窄线宽激光输出通常具有< 0.1% RMS,因此可保证用户在测量时获得更优良的信噪比。TopWave 266是一套易于集成的交钥匙系统,用户可通过控制单元的触摸面板控制系统,或通过USB/以太网接口与电脑用户界面搭配进行控制。由于其电光转换效率高,系统运行时仅需传导冷却。如果无法进行适当散热,可选择闭环水冷机制。
TopWave 266非常适用于复杂的测量和生产任务,例如:半导体检测,光刻或拉曼光谱等。它是一种经济高且可靠的激光,使客户能够不必担心光源而专注于自己的应用。
产品规格
激光规格 | TopWave 266-150 | TopWave 266-300 |
输出功率 | 150 mW | 300 mW |
线宽 | < 1 MHz | |
波长 | 266 nm ± 0.5 nm | |
光梳直径 | 0.4 mm ± 0.2 mm | |
光束发散角(全角) | ≤ 1.1 mrad | |
椭圆率 | < 15 % | |
光束指向稳定性(典型值) | 5 µrad / K | |
光束质量 | TEM00 | |
M² | M² x < 1.3, M² y < 1.3 | |
偏振性质 | 线性偏光, 垂直方向 < ± 3° | |
偏振消光比 | > 200 : 1 | |
能量稳定性 | 8小时内 < 1 % | |
RMS 噪声 | < 0.3 % (10 Hz - 10 MHz) | |
寿命(典型值) | 标称输出功率(with optics shifts) 情况下, > 10.000 hours | |
使用及环境规格 | ||
激光头尺寸 | 135 x 295 x 470 mm³(高X宽X深) | |
控制单元尺寸 | 154 x 378 x 448 mm³(高X宽X深) | |
Umbilical length | 2 m | |
温度范围 | ||
操作温度 | 20 °C 至 | |
储存及运输 | -10 至 +50 °C | |
冷却要求 | ||
激光头 | 如果有合适的控温热沉,传导散热。 | |
控制单元 | 风冷 | |
线电压 | 交流 100 - 240 V 50/60 Hz | |
功耗 | < 120 W | |
通讯接口 | USB, 以太网 |
应用
Ø半导体检测
Ø拉曼光谱
Ø拉曼显微镜
Ø光线布拉格光栅
Ø光刻
Ø母盘刻制
Ø光学检测
Ø光致发光(PL)
公司介绍
德国Toptica公司为科研及工业应用开发并制造激光系统,产品线包括二极管激光器,超快光纤激光,太赫兹系统以及频率梳等。TOPTICA激光器优良的性能表现,可靠性以及使用寿命收到各方OEM客户,科学家以及多位诺贝尔奖获得者的首肯。