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Nikon 干涉测量镜头
1）适合非接触光学压型
2）可选Michelson 和 Mirau 镜头
3）200mm镜筒远场校正设计
干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上，通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度，测量精度非常高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合，就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来，Michelson镜头拥有更长的工作距离，更宽的视场和更大的焦深。Mirau镜头用在需要高倍率和/或大数值孔径的场合。采用Nikon 200mm镜筒(#58-520)的话可将镜头直接装配到C接口相机上。
放大率 | 数字孔径 NA | 焦距 FL (mm) | 工作距离 (mm) | 产品号 |
2.5X | 0.075 | 80 | 10.3 | #59-310 |
5X | 0.13 | 40 | 9.3 | #59-311 |
10X | 0.3 | 20 | 7.4 | #59-312 |
20X | 0.4 | 10 | 4.7 | #59-313 |
50X | 0.55 | 4 | 3.4 | #59-314 |
100X | 0.7 | 2 | 2 | #62-788 |
Nikon 干涉测量镜头订购信息：
2.5X Nikon CF IC Epi Plan TI Interferometry Objective
库存#59-310技术参数与相关资料
类型 | Michelson |
放大率 | 2.5X |
数字孔径 NA | 0.075 |
工作距离 (mm) | 10.3 |
焦距 FL (mm) | 80.0 |
分辨能力 (μm) | 3.7 |
焦深(μm) | 48.6 |
视场，25直径视场目镜 (mm) | 10 |
视场，20直径视场目镜 (mm) | 8 |
视场, 2/3" 传感器 | 3.52 x 2.64mm |
视场, 1/2" 传感器 | 2.56 x 1.92mm |
支架 | C-Mount |
安装螺纹 | M27 x 0.75 |
重量 (g) | 440 |
生产商 | Nikon |
RoHS | 豁免 |
5X Nikon CF IC Epi Plan TI Interferometry Objective
库存#59-311技术参数与相关资料
放大率 | 5X |
数字孔径 NA | 0.13 |
工作距离 (mm) | 9.3 |
焦距 FL (mm) | 40.0 |
分辨能力 (μm) | 2.1 |
焦深(μm) | 16.2 |
视场，25直径视场目镜 (mm) | 5 |
视场，20直径视场目镜 (mm) | 2.2 |
视场, 2/3" 传感器 | 1.76 x 1.32mm |
视场, 1/2" 传感器 | 1.28 x 0.96mm |
支架 | C-Mount |
安装螺纹 | RMS |
重量 (g) | 280 |
生产商 | Nikon |
RoHS | 豁免 |
10X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective
库存#59-312技术参数与相关资料
类型 | Mirau |
放大率 | 10X |
数字孔径 NA | 0.30 |
工作距离 (mm) | 7.4 |
焦距 FL (mm) | 20.0 |
分辨能力 (μm) | 0.92 |
焦深(μm) | 3.04 |
视场，25直径视场目镜 (mm) | 2.5 |
视场，20直径视场目镜 (mm) | 2 |
视场, 2/3" 传感器 | 0.88 x 0.66mm |
视场, 1/2" 传感器 | 0.64 x 0.48mm |
支架 | C-Mount |
安装螺纹 | RMS |
重量 (g) | 125 |
生产商 | Nikon |
RoHS | 符合标准 |
20X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective
库存#59-313技术参数与相关资料
类型 | Mirau |
放大率 | 20X |
数字孔径 NA | 0.40 |
工作距离 (mm) | 4.7 |
焦距 FL (mm) | 10.0 |
分辨能力 (μm) | 0.69 |
焦深(μm) | 1.71 |
视场，25直径视场目镜 (mm) | 1.25 |
视场，20直径视场目镜 (mm) | 1 |
视场, 2/3" 传感器 | 0.44 x 0.33mm |
视场, 1/2" 传感器 | 0.32 x 0.24mm |
支架 | C-Mount |
安装螺纹 | RMS |
重量 (g) | 130 |
生产商 | Nikon |
RoHS | 豁免 |
50X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective
库存#59-314技术参数与相关资料
类型 | Mirau |
放大率 | 50X |
数字孔径 NA | 0.55 |
工作距离 (mm) | 3.4 |
焦距 FL (mm) | 4.0 |
分辨能力 (μm) | 0.5 |
焦深(μm) | 0.9 |
视场，25直径视场目镜 (mm) | 0.5 |
视场，20直径视场目镜 (mm) | 0.22 |
视场, 2/3" 传感器 | 0.18 x 0.13mm |
视场, 1/2" 传感器 | 0.13 x 0.10mm |
支架 | C-Mount |
安装螺纹 | RMS |
重量 (g) | 150 |
生产商 | Nikon |
RoHS | 豁免 |
100X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective
库存#62-788技术参数与相关资料
类型 | Mirau |
放大率 | 100X |
数字孔径 NA | 0.70 |
工作距离 (mm) | 2.0 |
焦距 FL (mm) | 2.0 |
分辨能力 (μm) | 0.4 |
焦深(μm) | 0.56 |
视场，25直径视场目镜 (mm) | 0.25 |
视场，20直径视场目镜 (mm) | 0.2 |
视场, 2/3" 传感器 | 0.011 x 0.08mm |
视场, 1/2" 传感器 | 0.08 x 0.06mm |
支架 | C-Mount |
安装螺纹 | RMS |
重量 (g) | 200 |
生产商 | Nikon |
RoHS | 符合标准 |
