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光腔衰荡光谱方法(CRDS, Cavity Ring-Down Spectroscopy)是一种基于高精细度谐振腔的高灵敏度探测技术,主要用于精确测量各种反射率大于99%的超高反射率反射镜的反射率,测量精度可达百万分之一量级!
光腔衰荡光谱方法通过对指数型的腔内衰荡信号的检测,摆脱了激光能量输出的起伏所引起的误差。由两片99.99% 反射率组成的光腔对损耗的测量精度可达ppm量级。
应用领域:
高反射镀膜层损耗的精密测量
正入射反射率R>>99%的平面或凹面光学元件的损耗测量
精度dR/R<2ppm @ R>99.5%
检测用激光波长可选(如≥355nm…532nm…633nm…1064nm…≤1319nm)
测量原理:
脉冲光或快速开关的连续光耦合进谐振腔
待测膜层在每次往返光程中经反射产生损耗
时间相关的输出信号的精确测量得到衰荡数据
脉冲光往返时间已知,根据衰荡的时间特点,得到反射率
技术指标:
测量反射率: R>>99%
精度: dR/R < 2ppm @ R>99.5%
样品/基底要求*: ø1”Or 0.5”, 厚度~6mm
基底透明,后表面平面抛光
*0o正入射测量,其他要求可订制。
供电电源:
激光器 100~240VAC, 50~60Hz
探测器 +/-9 VDC
接口: USB 2.0
含数据采集, A-D转换,数据处理等模块。软件包括反射率分析、生产数据录入及处理等。