超紧凑线性平移台（亚微米）

AU- M3-LS精密压电线性微动台是集动力系统、反馈系统和控制系统于一身的微机械系统。在紧凑的空间中（29 x 20 x 10 mm）包含一个世界上zui小的压电马达和IC驱动、非接触式磁感应阵列位置传感器和PID控制器。

超紧凑线性平移台（亚微米）

关键词：超紧凑压电电机驱动超紧凑线性平移台、压电马达驱动定位器、压电马达驱动平移台、压电陶瓷电机精密定位平移台、线性微动台、微机械线性微动台、微机电线性运动模块，超紧凑压电平移台，超小型压电平移台

①  AU-M3-LS采用SQL-RV-1.8微型压降直线微电机系统。该动力系统主要包括目前世界上zui小的压电SQL-RV-1.8压降直线微电机（2.8 x 2.8 x 6 mm）和业界内zui小的压电马达NSD-2101驱动IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模块上可以提供之前难以想象的运动性能。该直线微电机马达拥有较小的体积但可以提供更大的功率和稳定性。分辨率为0.5mm，精度是电磁马达的十倍。该马达没有齿轮和凸轮，直接提供直线移动的动力，并采用自锁设计，只有移动的时候才会耗电。因此比同等电磁马达的功耗降低40%。NSD-2101驱动是把输入的直流电转换为高频交流电来控制马达。并且可以通过I2C串行接口接受来自系统的指令。

②  AU-M3-LS超小型线性微动台为闭环的运动系统。采用NSE-5310位置传感器，分辨率可达到0.5mm。该传感器芯片上集成数字编码器的磁传感器阵列，将磁性正弦波转换为数字直接输出。芯片上编码使用标准I2C协议提供直接数字输出，无需外部脉冲计数器。高效的控制系统通信在单个I2C总线上zui多允许两个位置传感器。另外该传感器对外部环境不敏感，可适用于光照、冲击、振动等条件。

③ AU-M3-LS超紧凑型线性微动台不需要外部控制器。该模块将PID控制器集成到电路板上，只需要通过标准的I2C 或者SPI接口输入简单的串行命令就可以驱动该控制器。可以通过USB连接电脑，直接通过软件控制该微动台的运动。操作简单使用方便。

此外该微动台多个可组合成多轴运动的微动台。两个可以组合成X-Y轴运动的平台，三个可组合成X-Y-Z的多轴微动台。

u  产品主要特点

• 超小体积 （29 x 20 x 10 mm）
• 无需外加控制器
• 大行程（6mm）
• 高分辨率（0.5mm）
• 坚固性优
• 高重复性
• 低功耗 （工作时<o.7W）
• 可组成多轴微动台
• 可直接从USB适配运行

u  主要应用

手持和便携设备、便携式医疗设备、微型显微镜、光谱学、微器件装配、生物医学探测和抽样、高分辨率调谐系统、无人机/地面车辆控制和光学、微型相机系统等。

u  主要参数