产品简介
泰立仪器代理销售 日本新宇宙COSMOS XP-703D半导体特气检漏仪--Z适合于检测半导体特气的微量泄漏--采用声光报警，咨询。
详细介绍
日本新宇宙COSMOS XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪
简介: |
--于检测半导体特气的微量泄漏
--采用声光报警 |
| 日本新宇宙COSMOS XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪技术参数: |
检测对象气体 | 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） | 检测原理 | 型半导体式 | 采样方式 | 自动吸引式 | 可检测浓度 （单位：ppm） | 砷烷、磷烷、乙硼烷、硅烷、氢气
AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H2
0.2、0.3、0.1、0.5、1.0 | 检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 | 应答速度 | 10 秒以内 |
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