MS-500氧气分析仪日本东丽TORAY

MS-500氧气分析仪日本东丽TORAY

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2022-05-27 22:10:03
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产品简介

MS-500氧气分析仪日本东丽TORAY
多可以同时测量8个点
可以显示从ppm级到100%的多种浓度。
非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
传感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)
特殊涂层应用于高度耐用的传感器,以进一步提高耐用性

详细介绍

MS-500氧气分析仪日本东丽TORAY

 

MS-500氧气分析仪日本东丽TORAY

 

MS-500设备规格

测量原理氧化锆轻型电池
形状分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式)
显示方式4位数字显示(密度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0大气压
自动范围
重复性在±0.5%FS 0-1%范围内或更高
±1%FS以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1%内,atm范围超出了保证的浓度范围
测量点数1-8
样气条件压力10 -3至200 KPa(压力)
流量0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然扩散状态的测量)
湿度露点低于环境温度
温度0-100℃
其他不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。
比较气大气层
记录仪输出仅变速箱输出
变速箱输出RS-232C
报警输出没有
热身时间6分钟以内
尺寸MS-500(控制器)92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)
MS-510(转换器)100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)
传感器单元SD16NW总长100 mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51)
SD25NW总长100mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48)
SD40NW总长100 mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49)
大众MS-500(控制器)约0.6Kg
MS-510(转换器)约0.5kg
传感器单元SD16NW约0.2Kg
SD25NW约0.2Kg
SD40NW约0.35Kg
外部连接真空法兰之一(NW16、25、40)
使用电源24VDC±10%

氧气计LC-450A,LC-450D

LC-450A,LC-450D

LC-450A设备规格

测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式4位数字显示(密度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0 ATM自动范围
重复性在±1%FS 0-1ppm之内,大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 KPa以下
流量1,000-2,000毫升/分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。
比较气大气层
记录仪
输出
氧气浓度输出在4-20mA和0-20mA之间切换(可选0-10V)绝缘,负载电阻550Ω或更小
记录仪输出范围为满量程,线性输出至氧气浓度
输出范围0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出RS-232C
报警输出失败(设备错误)1分非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
设备异常导致接点闭合(可以更改接点操作)
ALM(浓度警报)2点(H / L)非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
发生警报时触点闭合(可以更改接点操作)
RDY(预热信号)1分非电压接点,接点容量30VDC / AC以下,0.5A以下
  • 无电压触点的小开关容量为12V或更高,并且无法承受微小的负载。
MRK(范围标记)输出2分非电压接点,接点容量30VDC / AC以下,0.5A以下
热身时间5分钟以内
尺寸身体210(W)x 134(H)x 300(D)mm(不包括突起)
大众约6kg
气体
连接口
进口Rc1 / 4
旁路输出Rc1 / 4
出口Rc1 / 4
使用电源100-240VAC,50VA(稳定:35VA)50Hz / 60Hz

LC-450D设备规格

测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式4位数字显示(密度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0 ATM自动范围
重复性在±1%FS 0-1ppm之内,大气压范围超出了保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 KPa以下
流量〜1,500L /分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。
比较气大气层
记录仪
输出
氧气浓度输出0-10VDC,绝缘,负载电阻600kΩ或更高
(选件:4-20mADC,绝缘,负载电阻550Ω或更低)
记录仪输出范围为满量程,线性输出至氧气浓度
输出范围0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自动/固定范围
变速箱输出RS-232C
报警输出失败(设备错误)1分非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
设备异常导致接点闭合(可以更改接点操作)
ALM(浓度警报)2点(L / LL)非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
发生警报时触点闭合(可以更改接点操作)
RDY(预热信号)1分非电压接点,接点容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
在预热操作期间触点闭合(可以更改触点操作)
  • 无电压触点的小开关容量为12V或20mA或更高,并且无法承受微小的负载。
MRK(范围标记)输出2分非电压接点,接点容量30VDC / AC以下,0.5A以下
热身时间5分钟以内
尺寸身体240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起)
大众约5kg
气体
连接口
进口Rc1 / 8
旁路输出Rc1 / 8
出口Rc1 / 8
使用电源24VDC±10%,1.25A(30VA,稳态)

氧气计LC-860

LC-860

LC-860设备规格

测量原理氧化锆轻型电池
形状桌面型/面板安装型
显示方式6位数字显示(密度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0大气压
自动/固定范围
重复性
氧气浓度在±1%FS之内且小于1ppm和0-1ppm,大气压范围超出保证的浓度范围
取样方式内置泵的连续吸入型
样气条件压力加压30 KPa以下
流量〜1,500mL /分钟
湿度露点低于环境温度
温度0-50℃
其他不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。
比较气大气层
记录仪
输出
氧气浓度输出4-20mA / 0-10V 4-20mA
:绝缘,负载电阻为600Ω或更低
0-10V:绝缘,负载电阻为500Ω或更高
记录仪输出范围为满量程,线性输出至氧气浓度
输出范围0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,0-1ppm,10 -20 -10 -0 或自动/固定范围的任意4个范围
变速箱输出RS-232C
报警输出失败(设备错误)1分非电压接点,接点容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
由于设备异常,触点闭合(可以更改触点操作)
ALM(浓度警报)2分非电压接点,接点容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
发生警报时,触点闭合(可以更改触点操作)
RDY(预热信号)1分非电压接点,接点容量24VDC / AC或更小,0.5A或更小
预热操作期间触点闭合(可以更改触点操作)
  • 无电压触点的小开关容量为12V或更高,并且不能承受微小的负载。
MRK(范围标记)输出3分非电压接点,接点容量24VDC / AC以下,0.1A以下
热身时间20分钟以内
尺寸身体288(W)x 144(H)x 400(D)mm(不包括突起)
大众约10kg
气体
连接口
进口Rc1 / 8
旁路输出Rc1 / 8
出口Rc1 / 4
使用电源100-120VAC±10%200VA 50Hz / 60Hz的
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