电感耦合等离子体发射光谱仪的特点：

1、射频发生器的高压供电回路，采用*的电子技术，淘汰了笨重的升压变压器和高频阻流圈，采用功率闭环反馈技术，控制精度小于0.1% 。

2、全自动点火 气路智能控制，实现软件点火，更方便。

3.安全冷却水保护、氩气保护、过压、过流、灭弧保护更安全。                                 
4.输出功率自动匹配调谐，功率参数软件程序设定。                
5.分光器内充氩气，使波长在180nm的硫和189nm的Sn得到很灵敏的测量效果。

6.优良的光学系统，*的控制系统，保证峰位定位准确，信背比优良、极小的基体效应。  
7.测量范围宽， 超微量到常量的分析,动态线性范围5—6个数量级。
8.检出限低，大多数元素的检出限可达ppb级。 
9.良好的测量精度，稳定性相对标准偏差RSD≤1.5%（5ppm），优于*标准（JJG768-2005）。

技术参数

射频发生器（RF）

(1) 电路类型：自激振荡电路，全自动点火，精密高压开关电源供电系统，所有功能实现电脑软件控制(点火、熄火、功率等参数设置)；实时功率控制；自动匹配调谐；光室恒温；；

(2) 工作频率：40.68MHZ±0.05% 

(3) 频率稳定性：<0.1% 

(4) 输出功率：700－1600w 

(5) 输出功率稳定性：≤0.3% 

(6) 电磁场泄漏辐射强度：距机身300mm 电场强度E:<2V/m

进样装置:

(1) 输出工作线圈内径25mm，3匝 

(2) 炬管：外径20mm的石英炬管 

(3) 同轴型喷雾器外径6mm 

(4) 双筒形雾室外径35mm 

(5) 氩气流量计规格和载气压力表规格： 

  ①、 等离子体流量计（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) 

  ②、 辅助气流量计（6-60）L/h ；(0.1-1L/min) 

  ③、 载气流量计（6-60）L/h ；(0.1-1L/min) 

  ④、 载气稳压阀（0-0.4MPa）

        仪器内设氩气二次稳压阀（0.3MPa）

    测光装置:

      (1) 光电倍增管规格： R212UH 

      (2) 光电倍增管负高压：200-1000V ，稳定性<0.05% 

      (3) 光电倍增管电流测量范围：10-12 -10-4A 

      (4) 信号采集为V/F交换：1mV对应100Hz

分光器:
(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm 
(3) 光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm，

     刻线面积: 80×110mm，线色散率倒数：0.26nm 
(4) 波长范围：190-500nm  
(5) 分辨率: ≤0.008nm 
(6) 扫描波长范围3600线/mm 扫描波长范围：190-500nm
(7) 步进电机驱动小步距：0.0006nm 
(8) 入射狭缝：20µm   出射狭缝：25µm
(9) 发射镜规格：（78 × 105 × 16）mm 
(10) 透镜ф30，1：1成像

电感耦合等离子体发射光谱仪整机技术指标：

测量波长范围：

180-500nm    3600L/mm光栅

测量精度（重复性）：平均相对标准偏差RSD≤1%

测量稳定性：平均相对标准偏差RSD≤2

检出下限：亚PPb级