BZ-精密气浮隔振光学平台-努美（北京）科技有限公司手机版

详细介绍

精密气浮隔振光学平台

精密气浮隔振光学平台参数：

▪平面度：0.02-0.05 mm/m²

▪振幅：＜1.1μm

▪表面粗糙度：< 0.6μm

▪重复定位精度：±0.05mm

▪空气压力：0.1-0.6（Mpa）

▪固有频率：垂直1.2-2.0Hz

水平1.2-2.0Hz

规格：

产品型号	平台规格（mm）	支撑	厚度（mm）	螺孔/阵距（mm）	限载（Kg）	自重（Kg）
BZ09-06	900×600×600	4支撑	100	M6螺孔/阵距25	400
BZ10-07	1000×700×600	4支撑	100	M6螺孔/阵距25	400
BZ10-08	1000×800×600	4支撑	100	M6螺孔/阵距25	400
BZ12-08	1200×800×800	4支撑	100	M6螺孔/阵距25	650
BZ15-09	1500×900×800	4支撑	150	M6螺孔/阵距25	650
BZ15-10	1500×1000×800	4支撑	150	M6螺孔/阵距25	650
BZ16-09	1600×900×800	4支撑	150	M6螺孔/阵距25	650
BZ18-12	1800×1200×800	4支撑	200	M6螺孔/阵距25	950	450
BZ20-10	2000×1000×800	4支撑	200	M6螺孔/阵距25	950	500
BZ20-12	2000×1200×800	4支撑	200	M6螺孔/阵距25	950	550
BZ24-12	2400×1200×800	4支撑	200	M6螺孔/阵距25	950	600
BZ30-10	3000×1000×800	6支撑	200	M6螺孔/阵距50	1100	950
BZ30-12	3000×1200×800	6支撑	250	M6螺孔/阵距50	1100	1200
BZ30-15	3000×1500×800	6支撑	250	M6螺孔/阵距50	950	1300
BZ35-12	3500×1200×800	4支撑	300	M6螺孔/阵距50	1200	1400
BZ35-15	3500×1500×800	6支撑	300	M6螺孔/阵距50	1200	1800
BZ40-15	4000×1500×800	6支撑	300	M6螺孔/阵距100	1500	1900
BZ42-15	4200×1500×800	6支撑	300	M6螺孔/阵距100	1500	2200
BZ48-15	4800×1500×800	8支撑	300	M6螺孔/阵距100	2500	2500
BZ54-15	5400×1500×800	8支撑	300	M6螺孔/阵距100	2500	2700
BZ60-15	6000×1500×800	8支撑	300	M6螺孔/阵距100	2500	3000