AL120-12晶圆搬送机

AL120-12晶圆搬送机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-05-25 23:40:03
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上海富莱光学科技有限公司

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产品简介

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。

详细介绍

AL120-12晶圆搬送机

人机工程学设计，操作方便       

 

坚固、可靠和安全传送       

 

宏观照明装置       

宏观照明装置
宏观照明装置

为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式                        
高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合，实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射。

AL120-12晶圆搬送机技术参数

自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格
 AL120-LMB12-LPAL120-LMB12-F
晶圆尺寸300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm
卡盒●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹
●SEMI：E47.1-0200规格产品
●FIMS-FOSB, FOSB		●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒
●SEMI：M31-0999规格产品
卡盒数单盒（装载、卸载兼用）
卡盒设置高度900 mm
装载端口有无
搬运顺序表面宏、内面宏、显微镜检查
检查模式全部检查、抽样检查
晶圆校准非接触式中心环
晶圆搬运方式真空吸附机械搬运
适用显微镜半导体检查显微镜MX61L
应用环境AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa
压缩空气0.5MPa～0.6MPa		AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa
载物台XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构
重量（不包括显微镜）约360 kg约270 kg
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