Nikon L300N/L300ND 尼康金相显微镜

集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到新的高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。

大观察样品:

ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。

观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）；

使用CFI60光学系统，*消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮；

物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求；

主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能；

光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使*操作也不易产生疲劳；
 

尼康L300N/L300ND金相显微镜主要特点

• 专为300mm晶圆和光罩检测 

• 利用更高的分辨率，对比度和透射CFI60光学系统 

• 更高的亮度比传统的显微镜 

• 新光源和四次美好的透射照明，*的光学设计结果 

•预中心的灯箱提供更高的亮度，同时仅消耗一半的电力，并减少热致离焦 

• 电动物镜转换器比传统模式更耐用三倍

 应用 • 晶圆 • 液晶显示器 • 其他各种检查

 两种机型可供选择： 

•  L300N：Episcopic照明类型 

大样品尺寸：300mm晶圆 

*阶段行程：354 x302毫米 

放大倍率范围：15X - 2000X（目镜和目标而定） 

•  L300ND：透射/ Episcopic照明类型 

大样品尺寸：17英寸平板显示器（FPD） 

*阶段行程：354 x302毫米（透射照明范围：354 x268毫米）

放大倍率范围：15X - 2000X（目镜和目标而定）

 各种各样的观测技术 

各种各样的观测技术，如明场，暗场，简单的偏光，DIC和外延flourescence观察，是可能的。 采用Epi - flourescence观察，紫外激发可应用于包括300mm晶圆和OLED检查应用。

 暗场观察 

新开发的暗场照明光学显着提高图像的亮度和提高分钟内样品的划痕和拓朴的检测能力。

 明场观察 

尼康CFI60系统 - 一个成功合并的CF光学系统无限远光学 - 高亮度，高对比度的图像。

 Nomarski DIC的观测 

 尼康L300N/L300ND金相显微镜采用单棱镜（Senarmont）系统，使所有的放大倍率DIC的观察，通过简单地插入物镜转换器单Nomarski棱镜。  DIC的图像清晰和与小的色调明快，即使在低放大倍率。 高对比度型DIC的滑块允许更大的敏感性形成的DIC图像。

 半兼容设计 

 尼康L300N/L300ND金相显微镜符合半导体设备和材料协会（SEMI）为安全准则（S7 - 0703）和人体工程学（S8 - 1103）。 由于目镜的位置更贴近运营商，不触摸阶段的运营商，即使是他或她的走向，确保安全，舒适地观看。

 防静电更强有力的保障 

静电放电涂料已应用于身体的阶段，镜筒（L2 - TT2型），及各种控制。 这加强了防止污染的保障，并避免损坏由静电引起的样品，从而有利于单产提高。

 固定位置的XY控制 

 XY精运动控制仍然接近运营商在相同的位置，使其不必要的运营商，以延长他或她的手臂，移动舞台。 因为移动的标本和重点，可以进行一个手搁在桌子上，操作者可以重点观察。

 简单的访问控制 

主要控制旋钮和按钮都位于前面的基础，允许快速，操作简便，同时观看样品，并尽量减少在漫长的观测疲劳。

 对焦目标 

重点目标轻松地移动和光路允许在低对比度的样品，如裸晶圆容易对焦。

 长工作距离和高NA 

趁着60毫米齐焦距离，新系列提供更长的工作距离，同时保持较高的数值孔径。  CFI60提供图像的亮度和易于操作。 此外，光为中心进行了改进，以尽量减少图像的变化，改变物镜时可能发生的的。

 倾斜三目镜筒 

倾斜三目镜筒是超广角的视野25毫米类型。 目镜角度0 °和30 °之间，可设置允许用户设置自己的更佳视点水平，以确保舒适的观赏姿势。 两种类型提供不同的观察/照相光路比：L2 - TT2（100:0 / 20:80）和L2 - TT（100:0 / 0:100）。

 以小的耀斑的高对比度 

倾斜三目镜筒是超广角的视野25毫米类型。 目镜角度0 °和30 °之间，可设置允许用户设置自己的更佳视点水平，以确保舒适的观赏姿势。 两种类型提供不同的观察/照相光路比：L2 - TT2（100:0 / 20:80）和L2 - TT（100:0 / 0:100）。

 CFI60光学 

尼康L300N/L300ND金相显微镜系列采用CFI60光学系统 - 融合了尼康*的CF设计和尼康无限远光学性能优良。  CFI60提供高清晰度，对比度和透射率，并提供了世界上水平高的光学性能。 已经大大提高了图像亮度比传统的显微镜，使得新系列，适合各种检查。

■ 规格
型号          ECLIPSE L300                           ECLIPSE L300N                     ECLIPSE L300ND
                          (反射照明型）                               (反射照明型）                （透射/反射照明型）
基座      内置12V-100W卤素灯光源；内置用于电动控制器的电源
                     用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、光圈叶片控制器
鼻轮             具备对中功能的电动通用六座物镜转换器
物镜       CFI60系列物镜
照明转换器            —                                                     —                                   反射/透射切换器
调焦部分 对焦:行程29mm，粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能)，
                        微调:0.1mm/转(以um为单位)
反射照明 12V100W高亮度卤素灯照明装置，孔径光阑（电动.可调心）、视场光阑（固定.带对焦目标），可插入小孔光阑滑块(OPTION)，可插入∮25mm                           滤光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/检偏器，观察方法：明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光（仅用于L300N/L300ND/L200ND）
透射照明            —                                                    —                                   12W100W高亮度卤素灯
镜筒          L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒（视角0～30°）
L2-TT             2A超大视场正立调倾式三目镜筒（俯角0～30°）
目镜        CFI目镜
载物台        14x12载物台、行程354mmx302mm（透射观察范围：354mmx268mm）
                       带粗/微动切换功能，微动手轮位置固定
防静电        从1000到10V放电时间在0.2秒以内
耗电       1.2A/90W
尺寸       约360(W)x581(H)x951(D)mm（倾斜角度为10°时）

Nikon L300N/L300ND 尼康金相显微镜