MX-IR/BX-IR半导体红外显微镜

非破坏观察半导体器件内部       

随着不断发展的电子设备小型化、超薄化的需求，半导体器件的封装技术也高速进化。使用近红外线显微镜，可以对SiP（System in Package）、三维组装、CSP（Chip Size Package）等用可视观察无法看到的领域进行无损检查和分析。       

倒装芯片封装的不良状况无损分析       

在倒装芯片的焊接中，组装后的焊接部分和模块无法用可见光检查。但是，如果使用近红外线显微镜，则可以在不破坏封装的前提下，透过硅观察IC芯片内部。只要置于显微镜下，就可以轻松进行不良状况分析。对必需用FIB（Focused            Ion Beam）处理位置的也有效。       

晶圆级CSP开发的环境试验导致芯片损坏       

晶圆级CSP的高温高湿试验导致器件的变化，可以用非接触方式检查。此外，还能可靠的观察铜引线部分的融解和腐蚀引起的漏电、树脂部分的剥离等。       

铝引线部分（内面观察）

焊锡溢出性评价

电极部分（内面观察）

针对不同样品的显微镜产品阵容       

MX系列产品（半导体检查型号）       

可以用来观察150～300 mm晶圆等的大型样品。只对应反射照明观察。       

半导体／FPD检查显微镜 MX61

工业检查显微镜 MX51

BX系列产品（标准型号）       

研究级全电动系统                        
金相显微镜 BX61

对应反射光观察和透射光观察。                   

BXFM（嵌入式设备型号）       

小型系统显微镜 BXFM

将物镜等近红外线观察装置搭载于显微镜上，就可以组成红外线观察显微镜。            
有关对应的显微镜规格，请参阅各显微镜的具体规格说明。       

近红外线观察装置

LMPlan-IR红外线观察用

对应显微镜一览       

红外线反射观察
> MX61A: 可以综合控制外围设备、对应300 mm晶圆的电动型号           
> MX61L/ MX61: 可以对应300 mm/ 200 mm 晶圆的电动型号           
> MX51: 可以对应150 mm晶圆的手动型号           
> BX51M: 从明视场到荧光，对应大范围观察的通用型号       

红外线反射透射观察
> BX61: 操作省力的电动控制型号           
> BX51: 从明视场到荧光，对应大范围观察的通用型号      

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