MX61A金相显微镜

强大的缺陷检查能力       

采用了新颖的光学系统（UIS2），特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温更佳化，实现了容易误检的中性颜色的再现，暗视场图像的亮度约提高了四倍（与本公司原有产品比较）。       

观察影像实例

明视场观察

新暗视场观察

传统的暗视场观察

自动调节亮度       

亮度光圈调节示意图

物镜选择和观察方法切换连动，自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。                   

对应各种设备的实时AF       

深紫外线观察用物镜

MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能*的动态AF。新开发的多点方式的传感器的采用，大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中，实现了追踪观察位置的实时对焦。                   

对应多种观察方法       

物镜UIS2系列产品

在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品，与各种观察单元组合，可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。                        
观察方法的切换非常简单，只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。                       

观察影像实例

明视场观察

暗视场观察

微分干涉观察

荧光观察

近红外线观察（左）和可见光线观察（右）的比较

提供扩展性的解决方案       

提供扩展性的解决方案       

适应分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模块

"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜，还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。软件进一步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求。                       

实现对人和环境都没有危害的自动化       

符合SEMI S2/S8标准       

符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有关安全的基准），S8-0705（有关人体工程学的基准）和CE标识（欧洲强制性认证）等的标准。符合人体工程学和安全对策等，高水准的确保了可靠性。       

可选的倾斜观察筒       

倾斜观察筒示意图

备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号，或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。                   

洁净对应的电动物镜转换器       

洁净对应的电动物镜转换器

备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。                       
6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器，采用了新型马达，实现了高速安静的倍率转换。                   

高抗振本体       

高倍率观察图像示意图

采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况。                   

可以触摸屏操作的手控开关       

手控开关操作部

 配备了触摸屏操作的手控开关，可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法，就能得到基于登录条件的合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。                   

帮助实现多种观察的附件       

晶圆搬送机组合       

晶圆搬送机

可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。                   

MX61A金相显微镜

自动载物台组合       

自动载物台