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日本SMC 冷冻式温控器 HRG

温控器

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冷冻式温控器 HRG

经济型温控器（三相电源）

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	循环液
HRG	5～35℃	1～15kW	±1.0℃/ ±0.5℃	空冷冷冻式水冷冷冻式	清水去离子水（纯水）乙二醇水溶液
特长	空冷类。设置操作简单、在任何需要场合都可以得到冷却水。广泛的应用于激光加工机/分析仪/LCD制造设备/模具温调等。

冷冻式温控器 HRGC

经济型温控器（单相电源）

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	循环液
HRGC	5～35℃	1～5kW	±1.0℃/ ±0.5℃	空冷冷冻式水冷冷冻式	清水去离子水（纯水）乙二醇水溶液
特长	空冷类。设置操作简单、在任何需要场合都可以得到冷却水。广泛的应用于激光加工机/分析仪/LCD制造设备/模具温调等。适合海外出口（单相200～230V）符合UL标准、CE规格。

冷冻式温控器 HRZ

高性能温控器

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	循环液
HRZ	-20～40℃	1～15kW	±0.1℃	水冷冷冻式	氟素化液清水去离子水（纯水）乙二醇水溶液
	20～90℃
	-20～90℃
特长	温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信性能，多用于半导体工艺设备。适用各种安全标准。符合UL和SEMI标准、CE规格。

冷冻式温控器 HRZ

高性能温控器（带变频器）

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	循环液
HRZ	-20～90℃	1.8～10kW	±0.1℃	水冷冷冻式	氟素化液清水去离子水（纯水）乙二醇水溶液
特长	在HRZ系列高性能的基础上，采用了DC变频压缩机，实现了省能化。兼备广泛的温度调节范围和冷却能力范围。适用于更新周期短的半导体器件，可以灵活地响应不断变化的工艺条件。符合UL和SEMI标准、CE规格。

水冷却式温控器 HRW

高性能温控器（水冷却式）

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	循环液
HRW	20～90℃	2～30kW	±0.3℃	水冷却式	氟素化液清水去离子水（纯水）乙二醇水溶液
特长	可以与工厂内循环用水直接进行热交换。适用于无需冷冻设备调温的场合。温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信性能，多用于半导体工艺设备。符合UL和SEMI标准、CE规格。可选择带变频器类型。

帕耳帖式温控器 HEC

高精度温控器

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	循环液
HEC	10～60℃	230W	±0.01～ 0.03℃	帕尔贴式空冷却式	清水
HEC	10～60℃	600、1200W	±0.01～ 0.03℃	帕尔贴式水冷却式	清水氟素化液
特长	用于高精度的温度控制。用帕尔贴式元件可实现无氟里昂高精度温度控制。结构简单，可靠性高。小型、低震动，容易组装。可用于宽泛的电源电压下。符合UL标准、CE规格。

帕尔贴式温调恒温槽 HEB

高精度恒温槽

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	循环液
HEB	-15～60℃	140W	±0.1℃	帕尔贴式水冷却式	清水氟素化液
特长	用帕尔贴式元件可实现高精度温调恒温槽。小型、低噪音。 *的搅拌方式使槽内上下温度分布均匀。

帕耳帖式化学液温控器 HED

氟树脂化学液温控器

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	循环液
HED	10～60℃	300～750W	±0.1℃	帕耳帖式水冷却式	去离子水（纯水）化学液
特长	采用了氟树脂热交换机，实现化学液的直接温控。氟树脂热交换机可以适应于多种化学液。符合UL标准、CE规格。

帕耳帖式空气温控器 HEA

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	适用流体
HEA	0～50℃	22W	±0.1℃	帕耳帖式空冷却式	空气
特长	使用帕尔贴元件的高精度、小型温调器。对应于局部温调或小容量温调。

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