磁控溅射靶材

磁控溅射靶材

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2022-05-24 16:00:03
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广州竞赢科学仪器有限公司

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产品简介

高纯度的金属溅射靶材适用于多种品牌的离子溅射仪: 包括PELCO®, Cressington, Agar, Bal-Tec, Bio-Rad, Denton, Edwards, Emitech, Emscope, Gatan, ISI, JEOL, LEICA, Polaron, Quorum, and SPI.​这些磁控溅射靶材的直径分为60,57,54,50和19mm。

详细介绍

高纯度的金属溅射靶材适用于多种品牌的离子溅射仪: 包括PELCO®, Cressington, Agar, Bal-Tec, Bio-Rad, Denton, Edwards, Emitech, Emscope, Gatan, ISI, JEOL, LEICA, Polaron, Quorum, and SPI.​这些磁控溅射靶材的直径分为60,57,54,50和19mm。

1、高纯60mm金属靶材:适用于Denton DESK II / DESK III / DESK IV/ DESK V, Edwards 150 B / SCANCOAT, Emitech K500/K550/K650Emscope SC500离子溅射仪。

货号

产品描述

单位

91217

铜靶, 99.99% Cu (Ø60mm x 0.076mm)

91210

金靶, 99.99% Au (Ø60mm x 0.1mm)

91212

金钯合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (Ø60mm x 0.1mm)

91216

镍靶, 99.98% Ni (Ø60mm x 0.1mm)

91214

铂靶, 99.95% Pt (Ø60mm x 0.1mm)

91219

钯靶, 99.95% Pd (Ø60mm x 0.1mm)

91229

银靶, 99.99% Ag (Ø60mm x 0.1mm)

2、高纯57mm金属靶材:适合于 Agar, Cressington 108/208, Emitech SC7620/SC7610/K575X/K575XD, ISI 5400, JEOL JFC 1200/1300/1400/1600/2300HR, PELCO® Model 3, SC4/SC5/SC6/SC7, Polaron 5000/5400/SC7610/SC7620, Quorum Q150, SPI Module/Super离子溅射仪
 

货号

产品描述

单位

8074

铬靶, 99.95% Cr (Ø57mm x 3.2mm) (208HR only)

91117

铜靶, 99.99% Cu (Ø57mm x 0.1mm)

8077

铜靶, 99.99% Cu (Ø57mm x 0.3mm)

91110

金靶, 99.99% Au (Ø57mm x 0.1mm)

8071

金靶, 99.99% Au (Ø57mm x 0.2mm)

91112

金钯合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (Ø57mm x 0.1mm)

91111

金钯合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (Ø57mm x 0.2mm)

91132-B

铟锡氧化物靶 , 99.99% ITO, In2O3/SnO2 90/10 wt % 背面有1mm 铜片, (Ø57mm x 3mm 总厚)(208HR only)

91120

铱靶, 99.95% Ir (Ø57mm x 0.3mm) (208HR only)

91124

铁靶, 99.5% Fe (Ø57mm x 0.12mm) (208HR only)

8073

钼靶, 99.95% Mo (Ø57mm x 0.25mm) (208HR only)

91116

镍靶, 99.98% Ni (Ø57mm x 0.1mm) (208HR only)

8079

铌靶, 99.95% Nb (Ø57mm x 0.25mm) (208HR only)

91119

钯靶, 99.95% Pd (Ø57mm x 0.1mm)

91114

铂靶, 99.95% Pt (Ø57mm x 0.1mm)

8076

铂钯合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 (Ø57mm x 0.1mm)

91115

铂钯合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 (Ø57mm x 0.2mm)

91118

银靶, 99.99% Ag (Ø57mm x 0.1mm)

91129

银靶, 99.99% Ag (Ø57mm x 0.3mm)

8075

钽靶, 99.95% Ta (Ø57mm x 0.3mm) (208HR only)

91123

钛靶, 99.6% Ti (Ø57mm x 0.2mm) (208HR only)

8078

钨靶, 99.95% W (Ø57mm x 0.25mm) (208HR only)

3、高纯54mm金属靶材,适合于Bal-Tec SCD005/040/050/500, MED10/20 LEICA EM SCD 005/050/500, MED 020 离子溅射仪。

4、高纯50mm金属靶材,适合于Anatech/Technics Hummer I, II, III, Fullam EffaCoater Fullam EMS-76离子溅射仪。

5、高纯38mm金属靶材,适合于Cressington 308HR离子溅射仪。

6、高纯19mm金属靶材,适合于Gatan Model 681 and 682 PECS 离子束溅射仪

镀非导电SEM样品时,如何选择相应靶材:

Gold黄金

优良的靶材,广泛应用于标准SEM镀膜。对于冷镀膜离子溅射仪(Cressington 108auto),对于热敏性样品几乎不会产生任何热量. 在高倍SEM下可看到颗粒尺寸

Gold/Palladium金钯合金

溅射率低于纯黄金. Au相比,Au/Pd 的颗粒更小,但由于其有两个峰,所以不是很适合EDS分析,也不是很适合热敏性物质镀膜。

Palladium

成本低,可用于中低放大倍数场合,具有更低的SE信号

Platinum铂金

具有比Au Au/Pd更小的溅射颗粒。但溅射率更低。如果有氧气,则应力开裂的敏感性。有更高的SE产出。

Platinum/Palladium铂钯合金

颗粒大小与Pt差不多,但应力开立的敏感性较小。非常适合FESEM,但更适合高分辨率镀膜仪208HR.

Silver

成本低,可用于中低放大倍数场合,颗粒比Au. 适合于小型SEMs。与AuPt相比,SE产出更低。. 如果样品没有放在真空环境下,则镀膜表面易氧化. 可用于特殊的EDS工作.

Chromium

非常细的溅射颗粒,适合于 FESEM. 为避免氧化,需用于208HR一样的高真空镀膜仪。镀膜后的样品只能存放在高真空环境中. 溅射离子直线下落。适合生物样品的BE成像,溅射产率低。

Iridium

非常细的溅射颗粒,适合于 FESEM,需用于208HR一样的高真空镀膜仪,溅射产率低。

Tungsten

可替代Cr.颗粒非常细,但氧化非常快,溅射产率低。  

Nickel

可作为特殊的EDS应用, 不适合SE成像.适合BE成像,溅射产率低,镀膜易氧化。

Copper

适用于EDS. 适合中/低放大倍数场合,BE成像.

Note 1:铝的溅射产率非常低,对于SEM离子溅射不适用,且氧化非常快。
Note 2:碳于EDS应用,但很难溅射。碳的蒸发产率非常好。

 

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