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广州市所在地
品名:208C高真空镀膜仪
品牌:英国Cressington
Cressington 208C高真空镀膜仪为SEM、TEM、STEM、EDS/WDS、EBSD和微探针分析提供高质量的镀膜技术。Cressington 208C系统结构紧凑,所占空间小。Cressington 208C样品室直径150mm,可快速抽真空进行镀膜处理,处理周期约10分钟。高真空条件下使用超纯的碳棒为严格的高分辨扫描电镜、透射电镜、EBSD及探针分析提供高质量的镀膜处理。.组件设计方式可方便地对不同优化条件下的各种应用进行切换
Cressington 208C主要特性:
1.电压控制的碳棒具有多次蒸发能力
2.反馈控制可以得到准确*的镀膜厚度
3.可选择操作方法优化镀膜过程
4.繁忙条件下可进行自动蒸发控制
5.低成本高分辨膜厚监测仪保证可重复的镀膜效果
6.80L/s的分子涡轮泵可快速地使直径150mm的样品室达到镀膜要求的真空
7.可配备无油涡旋式真空泵选件
8.可通过以下方式节约成本:无须水冷却系统
9.无须加热或冷却
10.无须液氮
11.制样周期短
12.节省空间
碳蒸发控制
208C对碳棒-Bradley型碳蒸发源使用*的*集成的反馈控制设计。
电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有异常的重新蒸镀特性。
蒸发源使用两步超纯碳棒。
蒸发源可以手动“脉冲”或“连续”的方式进行镀膜。“脉冲”方式如果和MTM-10高分辨膜厚监测仪一起使用,可以准确得到所需要的膜厚。自动方式下的操作非常方便,操作者只要设定电压和时间,可以得到*的镀膜效果。
208C 样品室
样品室的组件设计方式可适应多种附件使用。
通过简单调节工作距离,可方便地调节蒸发速率。
*的标准化高/低真空压力调节通过精密针阀完成。
高真空用于zui高质量地镀膜,如用于TEM制样。
低真空用于TEM栅网的辉光放电清洁以及扫描电镜观察中形貌复杂样品的镀膜。
对于SEM、EDS/WDS 和探针分析,旋转-行星转动-倾斜样品台可对同时多个样品进行*的镀膜处理。
旋转-倾斜台特别为TEM样品处理设计,而且可以放置25 x 75mm的玻片。
Cressington 208C技术参数:
样品室大小:直径150mm 、高度 165mm - 250mm可调
蒸发源:Bradley型 (6.15mm直径 rods) ,高强度不锈钢结构
蒸发控制:基于微处理器的反馈回路控制,能够进行远程电流/电压感应,基于真空水平变量的安全互锁功能,zui大电流180A,提供过流保护
样品台:可安装12个扫描电镜样品座
高度在60mm范围内可调:旋转-行星转动-倾斜样品台(选件)
模拟计量:真空, 双范围 Atm - 0.001mb ;1 x 10-3mb- 5 x 10-6 mb
电流, 0 - 200A
控制方法
自动蒸发控制,使用程序设定的电压和时间,自动放气
以脉冲或连续方式进行*手动控制
数字定时器(0-30s)
数字电压设置(0.1 to 5.5V)
真空系统
结构
分子涡轮泵/旋片泵组合,无油涡旋式真空泵(选件)
抽真空速度:80 L/s.
抽真空时间:1.5 min*限真空:5 x 10-6mb
桌上系统
旋片泵可置于抗震台上,全金属真空耦合系统
系统要求
电源:100-120 或 200-240 VAC, 50/60Hz
功率:1200 VA max.