多工位管炉

多工位管炉

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2022-05-24 14:50:02
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天津中环电炉股份有限公司

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产品简介

该系列产品系周期作业,供企业实验室,大专院校,科研院所等单位选用,设备为用户提供具体真空、可控气氛及高温的实验环境,应用在半导体,纳米技术,碳纤维等新材料新工艺领域薄膜沉积炉、气相沉积炉、纳米材料炉。真空气氛管炉 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉 真空气氛管炉 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉 真空气氛管炉

详细介绍

 一、真空气氛的操作便捷性:
1、1600℃真空管式电炉|气氛管式电炉|管式电炉,气路连接方式采用了快速连接法兰结构。
2、使取放物料过程简化,只需一支卡箍便可完成气路连接,方便操作。
3、取消了复杂的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成损坏的可能。
二、真空气氛的结构实用性:真空气氛    旋转电炉  立式管炉  快速退火炉  马佛炉 
1、炉膛采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采用表面温度1700度的优质硅钼棒。
2、密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。
3、两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。
4、*的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。真空气氛    旋转电炉  立式管炉  快速退火炉  马佛炉 
三、真空气氛的使用安全性:采用了:
1、超温保护功能,当温度超过允许设定值后,自动断电及报警。
2、漏电保护功能,当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。
四、控制智能化: /CVD炉/cvd电炉/rtp炉/快速退火炉
1、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、模糊控制、自整定功能,并可编制各种升降温程序。真空气氛    旋转电炉  立式管炉  快速退火炉  马佛炉 
2、国产程序控温系统可编辑50段程序控温,进口程序控温系统可编辑40 段程序控温。
3、电炉内配置有485转换接口,可实现与计算机相互连接。通过的计算机控制系统来完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。
五、真空气氛的周边拓展性该电炉可配置:
1、真空控制系统。通过各种真空控制系统,可以实现样品在低、中、高真空环境下进行试验。
2、气体流量控制系统。通过浮子或质量流量控制器调节进气量,以满足用户在不同反应气氛或保护气氛条件下的实验要求。
六、设计*性:
该设备为产品,具有多项独立自主的知识产权。外观美观,结构合理,使用方便。
 

 

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