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真空快速退火炉产品特点：
1 控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。
2 气路快速连接法兰结构采用本公司*的知识产权设计,提高操作便捷性。
3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。
产品组成：
此款CVD系统配置：
1.1200度开启式真空管式炉（可选配单温区、双温区）。
2.多路质量流量控制系统
3.真空系统（可选配中真空或高真空）
真空快速退火炉技术参数：
| 产品名称 | RTP系列-滑动式快速退火炉 |
| 产品型号 | RTP-G06123K-H |
| 额定功率 | 9KW |
| 额定电压 | 220AC 50/60Hz |
| 极限温度 | 1000℃ |
| 连续工作 | 950℃(<1 小时) |
| 加热区长度 | 250mm |
| 恒温区长度 | 200mm |
| 加热元件 | 红外灯管 |
| 温度控制 | 国产程序控温系统可编程50段程序控温； |
| 控制精度 | ±1℃ |
| 石英管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100mm |
| 炉管材质 | 石英管 |
| 滑动距离 | 300mm |
| 大降温速度 | 900~200℃的降温速度:15min |
| zui快升温速度 | 50ºC/S |
| 滑动控制 | 由温度控制器自动控制炉体移动. 当程序完成，炉体按设定的速度滑动。 |
| 流量计 | 浮子流量计60-600ml/min |
| 滑轨尺寸 | 360 x1300x265mm |
| 外形尺寸 | 360x385x595mm |
| 重量 | 85Kg |
| 标准配置 | 气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、石英堵三个、钩子一把、高温手套一副。 |
