半导体晶圆温度控制
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Unichiller 060T-H半导体晶圆温度控制

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-05-24 11:20:02
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富博(广州)仪器设备有限公司

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产品简介

与自来水冷却方式相比,Huber Unichiller 系列制冷器提供更高效率。半导体晶圆温度控制系统提供稳定的压力和传递性能,以及恒定的冷却水温度。降低水耗量,保护环境,降低操作成本。适用于化学反应中散热,制冷技术设备,以及实验室集中冷却水供应。 适用于在高达 +40°C的环境温度下连续工作。选择露天保护和冬季操作模式,可以即将其放在户外使用。扩展泵压力和流量可以应用于高压降。

详细介绍

半导体晶圆温度控制系统,与自来水冷却方式相比,该系列系列制冷器提供更高效率。提供稳定的压力和传递性能,以及恒定的冷却水温度。降低水耗量,保护环境,降低操作成本。适用于化学反应中散热,制冷技术设备,以及实验室集中冷却水供应。 所有Unichillers 适用于在高达 +40°C的环境温度下连续工作。选择露天保护和冬季操作模式,可以即将其放在户外使用。扩展泵压力和流量可以应用于高压降。


 
一般信息和温度控制器 
温度范围   -20...100 °C
温度稳定性 ±0,2  °C
控制器 Pilot ONE  (E-grade "Basic")   
安全等级   III / FL  
保护级别  IP20  
外形尺寸 (宽 x 长 x 高) 600 x 692 x 1613  mm
重量 228  kg
加热/制冷功率 
加热功率   2  kW
制冷功率
15 0 -10 -20  °C
6 5 2,8 1,4  kW
制冷方式 air-cooled  
制冷剂   R449A (A1, H280)  
循环泵   
压力泵大值  80  l/min ; 5,6  bar
泵连接螺纹尺寸  G1 1/4 AG male  
连接件 
Pt100连接件  Pt100  
数字接口  RS232, Ethernet, USB Device, USB Host  
操作数据
允许的环境温度 5 ...40 °C
小填充体积 5  L
膨胀容器填充体积 7,5  L
电源 400V 3~ 50Hz *   
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