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石英管式微波等离子体发生装置
(一)性能概况
1、微波2.45GHz；0～500W或0～1000W足额功率，连续可调；
2、本底真空不劣于10Pa；工作气体分3路控制流(入)量；
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反应室，置于微波系统和真空系统的偶合点上；
4、制冷循环水冷却。
(二)典型实验
1、化学气相沉积制备金刚石薄膜、碳纳米材料等；
2、集成电路等的刻蚀；
3、可催化引发常规化学很难实现的反应；
4、高分子、金属、生物材料表面改性。
(三)产品特色
1、微波准零泄漏，确保人身安全；
2、微波足额功率，等离子体活力强劲；
3、样品升降架精巧豪，可加热可冷却；
4、制冷循环水避免长流水费水扰民；
5、循环水机可联机可独立使用；
6、缺水保护报警功能完善可靠；
7、排气口有环保型油雾过滤器；
8、电控系统功能完善灵便醒目；
9、整机造型典雅大气。
