长寿命*EX5D是按照工业激光标准设计的35W高功率*,具有紧凑的激光器结构和高达60亿次脉冲的寿命。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~12ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达35W，193nm激光功率高达20W。
长寿命*特征
•饱和磁开关
•软电晕预电离
•无弧放电
•稳定能量输出
•气体寿命长
•数十亿脉冲
•高功率
•重复频率高达2000HZ
•多触发器自动充气
•低发散
•风冷式
长寿命*EX5D规格
工作物质           F2     ArF     KrF     XeCl     XeF
波长nm                             157    193     248     308      351
大能量mJ                       3     24      40      20       15
平均功率W@250Hz      0.8      6      10       5       4
平均功率W@500Hz      1.5     12      20      10       7
平均功率W@1000        3      24     40       20      15
重复频率，Hz                 250/500/1000/2000
大能量mJ@2000Hz  1.5    10      14       10      7.5
平均功率W@2000Hz   3      20     28     20    15
动态气体寿命@50%能量        十亿脉冲的动态气体寿命
稳定功率W                      2       20     35     15    10
脉宽ns                                 8-12
光束尺寸mm                      3 X 6
稳定性                       <2%标准偏差
激光管寿命                     20-60亿脉冲
发散角mRad全角               0.8 X 1.5
冷却                                空气/水
窗口服务                     1000E6 1000E6  >1000E6 200E6 300E