中功率*是全金属/陶瓷器件气体激光器,采用*的线性设计在紧凑封装中产生高能量准分子激光输出,静态和动态气体寿命远高于其它*。在真空紫外157nm波长的F2气体寿命优势尤其明显，静态气体寿命超过15天，而其它品牌的*气体寿命多为1天。适用于紫外激光微加工,可调谐激光泵浦,激光质谱分析等应用。可提供193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽6-8ns,重复频率300Hz,248nm激光功率3，193nm激光功率高达4W。
中功率*具有较高重复频率和中等激光功率,结构紧凑而具有准分子激光性能,可靠性强,重复频率为250Hz和500Hz，KrF激光器248nm波长平均功率为12W.
高效放电
高效率是获得优异激光性能的关键。中功率*的工作效率是同类小型*的3倍。这意味着只需要输入1/3的能量就可以实现相同的准分子激光输出。优化的软电晕预电离状态在重复频率高达1000Hz时产生均匀的高效率放电，开关抖动小于2nS标准偏差。此外，这种激光效率的提高大大减少了沉积在放电中的能量浪费，从而降低了电磁干扰，大大减少了电极和元件的磨损。这也增加了整个中功率*系统的使用寿命。
中功率*具有主动热稳定特性。这使得激光器能够*工作，具有优异的指向稳定性，优于20urad/℃。
中功率*优点
•易于使用的一体式紧凑结构
•内部真空泵和卤素过滤器
•计算机控制
•高脉冲稳定度
•超长气体寿命
•全金属/陶瓷技术
•高稳定性电晕预电离
•10亿脉冲寿命
•70mJ/100Hz TEA二氧化碳版
中功率*应用
•替代激光器
•电离源
•紫外激光微加工
•精密激光打标
•屈光手术
•拉曼光谱
中功率*规格参数
工作物质                           ArF        KrF        XeCl      XeF
波长nm                             193       248        308      351
大能量mJ                        6        10             8       6
峰值功率MW                 0.85      1.43     1.14    0.85
平均功率W@300Hz      1.8         3           2.4      1.8
动态气体寿命              12E6       18E6     20E6    15E6
50%能量
静态气体寿命             15天      30天    >3个月   30天
重复频率                             300Hz
脉宽ns                                  6-8ns
光束尺寸                        6 x 3 mm    V x H
稳定性                          <3%标准偏差
光束发散角                         2 x 1 mRad V x H
冷却                                                   空气
激光管寿命                        20亿脉冲
电源要求           120 VAC, 5 Amp, 600 W
重量                             8kg
尺寸                    13英寸x 7英寸x 7英寸