这款高功率*是按照工业标准打造的工艺级*,具有良好的激光稳定性和激光寿命。可提供157nm波长,248nm激光功率高达68W，193nm激光功率高达32W。*的动态气体寿命和静态气体寿命高达30亿次脉冲.可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽15~22ns,重复频率60Hz/125Hz/250Hz/500HZ,248nm激光功率高达68W，193nm激光功率高达32W。
高功率*特征
•高功率*
•2ns低触发抖动
•*的脉间稳定性
•气体寿命长
•长寿命光学
•电晕预电离技术
•陶瓷/金属激光管封装技术

高功率*应用
•替代激光器
•脉冲激光电离激发
•准分子激光微加工
•精密标记
•屈光手术
•拉曼光谱
高功率*规格
参数                                   F2      ArF       KrF      XeCl     XeF
波长nm                          157     193       248       308     351
大能量mj                    10      75        125          65     60
平均功率W@125Hz    1           8         12           6.5     6
平均功率W@250Hz    2          16         24          13    10
动态气体寿命             10E7    15E6    20E6   20E6    20E6
静态气体寿命              15天  60天      90天    >6个月   90天
（50%脉冲能）
重复频率                          60/125/250/500 Hz
脉宽                        15-22ns
光束尺寸               10 x 5 mm        V x H
稳定性                      <2%标准偏差
发散角                      0.8 x 1.5 mRad全角度
冷却                          空气/水
激光管寿命                20亿脉冲
电源                    100-240 VAC, 15 Amp