这款大能量*是为大能量紫外激光应用设计的大功率*,非常适合脉冲激光沉积PLD等应用,193nm波长的激光脉冲能量高达150mJ,248nm的激光脉冲能量高达250mJ.
大能量*特点
具有20Hz,50Hz,100Hz重复频率供选择
单激光器即可产生大功率大能量激光
光束发散角小
计算机可控制
抖动小到<2ns 
•*
•*的脉间稳定性
•气体寿命长
•长寿命光学器件
•电晕预电离技术
•车载真空泵
大能量*应用
•替代激光器
•脉冲激光电离激发
•准分子激光微纳加工
•精密激光标记
•屈光手术
•拉曼光谱激发源
大能量*规格
工作物质                     F2      ArF       KrF      XeCl     XeF
波长nm                       157     193       248       308     351
大能量mJ                20       125       250       125    100
平均功率W@20Hz     0.4     2.5       5         2.5         2
平均功率W@50Hz     0.9     5       12           4          4.5
静态气体寿命     10天    20天   30天     6个月   30天
激光窗口寿命                         100E6
重复频率                     20Hz和50Hz
脉度                         20-26ns
光束尺寸               19x 7 mm        V x H
稳定性                      <2%标准偏差
光束发散角                      3x 1.2 mRad全角
冷却                             空气/水
激光管寿命                     >10亿脉冲
电源                   20Hz 95-240 VAC, 3/ 6 A, 47/63 Hz           50Hz 208-240 VAC, 5/10A, 47/63 Hz
超大能量*规（增强版）
工作物质                         F2        ArF           KrF       XeCl     XeF
波长nm                           157      193        248         308       351
大能量mJ                    22       200         1J         200     125
平均功率W@20Hz     0.4         3.0         10         3.0       2.0
平均功率W@50Hz     0.9          6                          6            4
静态气体寿命            10天    20天       30天      6个月    30天
（50%能量）
脉宽                         18-22ns
腰斑尺寸                    19x 7 mm     
稳定性                         <2%标准偏差
光束发散角                      3x 1.2 mRad
定时抖动                     +/-2ns
冷却                          空气/水
激光管寿命                     >10亿脉冲
重量                         80kg
尺寸                     1420 X 430 X 330 mm