小型工业*EX5A和EX5AR（加固型）在微型*基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长，激光能量输出和平均功率也高于标准的*。非常适合需要高占空比和少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达8W，193nm激光功率高达4W。
小型工业*EX5A/AR规格
工作物质                           F2              ArF     KrF     XeCl     XeF
波长nm                             157           193     248     308     351
大能量mJ                     1.5/2.5*   14       20       12       8
峰值功率MW                   0.30        2.0      2.5     1.25     0.8
平均功率W@250Hz     0.3/0.4     3.0      5.0      2.5     1.4
平均功率W@500Hz      0.5            6.0       8.0     4.0     2.5
平均功率W@1000Hz    1.0             9         14     6.0      5.0
大能量mJ @2000Hz                    0.7       0.9
平均功率W@2000Hz                     1.0    1.4
动态气体寿命@50%能量   10E6    12E6    18E6    20E6    15E6
50%能量保存期               10天    15天   30天   >2个月   30天
脉宽ns                                             8-10
稳定性                           <2%标准偏差
激光管寿命                          50亿脉冲
光束尺寸，mm                         3X 6
发散角mRad全角                    1 X 2
冷却                                                      空气/水冷
定时抖动                           2ns标准偏差
重量                     15kg 250/500Hz，35kg 1000/2000Hz