大型晶圆探针台600LS是专业为300mm晶圆测试设计的大尺寸晶圆测试探针台系统,广泛用于6''晶圆,8''晶圆和12''晶圆探针测试应用。
晶圆夹盘拉出特色
方便而安全的晶圆更换功能
对于12英寸晶圆也可无障碍更换
包含人体工程学把手设计，带有可重复触发的释放/锁止功能
采用重型精密滚珠导向系统
双Z轴气体冲击辅助机械压盘升降系统
显微镜升降延迟可调offset
装卸晶圆过程中,避免探针卡和探针对显微镜物镜造成干扰

压盘制冷
空气制冷,减少探针漂移

集成减震台降低振动影响,带有可调滚轮和操纵杆支架
高分辨率电机驱动:310mm XY位移台驱动具有亚微米分辨率
操纵杆控制
    双速预操作控制XY或Z轴
    可停止操纵杆控制
    快速按下功能方便操作
操纵杆控制
    双速预操作控制XY或Z轴
    可停止操纵杆控制
    快速按下高速按钮功能方便操作，XY或Z转换时,自动提高位移速度.
Theta角度控制30度手动分辨率，可根据用户要求选配电动控制
显示器平台-方便观看,不遮挡观看
模块化设计平台-可根据探针的改变而升级，多种探诊台附件和升级办法供用户选择
探针卡支架-优化设计，适合4.5英寸宽度探针卡
 
晶圆探针台规格参数600LS
显微镜位移
X-Y操纵杆驱动,50.8mm x 50.8mm（2” x 2”) ，可选升级到203mm x 203mm (8”X 8”)
聚焦 (Z)轴旋钮驱动，50.8mm (2”) 标准配置; 可选配升级到100mm (4”) 带有粗调/微调聚焦旋钮
显微镜升降延迟：可调节，根据压板Z的功能提升显微镜，以防止损坏探针卡和探针
支持的显微镜：QIOPTIQ A-Zoom     Meiji stereo-Zoom   USMCO, Motec&Seiwa显微镜
 
位移台/晶圆卡盘X-Y-Theta位移
X-Y操纵杆驱动,310mm x 310mm
Theta角旋转：手动控制+/-15度。（可选600-EVS-12SS卡盘，采用300mm不锈钢表面，可选真空环用于4英寸，6英寸，8英寸，12英寸晶圆，平整度+/-12微米。）
 
晶圆卡盘-装载/卸载
12英寸滑行行程，便于轻松装卸晶圆;符合人体工程学的手柄设计，具有可重复的机械触发释放/锁定功能和重型精密轴承导轨
压板Platen：大面积可容纳10个或更多的机械手，专为高温测试所需的风冷而设计。 磁性不锈钢表面，稳定的四点丝杠驱动。包括两个可定位的真空歧管。
 
Z轴微调提升和降低-真实平面垂直运动，亚微米精度
Z轴行程：50.8mm (2’’)
Z轴快速提升控制：带有锁定Zup位置的Quickplaten升降机，可快速清理工作区域。升降行程：50.8mm（2”）
 
Joystick操纵杆
大型便捷操纵杆具有高/低速控制按钮位于顶部，旋转的操纵杆手柄控制压板Z，智能电动驱动控制（顺时针：压板向下，逆时针：压板向上）。位移台X-Y启用-暂停功能将位移台锁止在所需位置。对齐启用-停止功能可以锁止Y轴,以便晶圆可以在X轴上对齐而不会意外移动Y轴。
探针卡支架-适合标准4.5‘’探针卡（其它规格可按用户要求提供）
尺寸重量：38” (96cm) D x 48” (122cm) W x 55” (140cm) H   净重181Kg
外观处理：发黑氧化铝，不锈钢涂粉工艺