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一.4英寸手动探针台BU-4
这款手动探针台BU-4提供4''样品真空卡盘和4'' x 4''滚珠轴承螺杆位移台,带有theta角控制,磁性不锈钢顶部压板平台带有升降功能。配备三丰长距离物镜后非常适合FA整修和探针应用,可配备多种相机。
图1:手动探针台BU-4实物图(4英寸卡盘)
二.6英寸/8英寸手动探针台BU-6和BU-8
手动探针台BU-6和BU-8采用超薄低剖面螺杆驱动位移台,配备6''和8''样品卡盘带有theta调整,采用不锈钢磁性顶部压板平台,可以升降。可选配日本三丰或Motic探针显微镜,相机等。
图2:6英寸/8英寸手动探针台BU-6和BU-8实物图
三.8英寸手动探针台BU8-17
8英寸手动探针台BU8-17配备8''晶圆卡盘和14''压板平台,具有上下升降功能。
图3:8英寸手动探针台BU8-17实物图