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深圳市所在地
| 功能特点 |
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| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） | ||
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 | ||
| 气 | 设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀 | ||
| 工作台 | 落地式，占地面积2m2以上 | ||
| 通风装置 | 需要 | ||
| 电源 | AC220V 1500W | ||
| 蒸发电源功率 | 1000W 5V 200A | ||
| 蒸发电极有效距离 | 44mm | ||
| 样品台 | Ø120mm（可旋转） | ||
| 膜厚测量精度 | 0.1Å或0.01Å（可选配高精度型） | ||
| 外接真空机组 | 扩散泵机组（可选配国产110机组或进口机组）（不建议使用扩散泵） | ||
| 极限真空度 | >3.0×10-3torr（扩散泵）、3.0×10-4torr（分子泵）（不建议使用扩散泵） | ||
| 工作真空度 | 5.0×10-3torr | ||
| 真空接口 | KF40 | ||
| 使用环境 | 温度35℃，湿度<75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m | ||
| 尺寸 | 440mm×240mm×260mm（不包括真空机组） | ||
| 重量 | 约47kg（不包括真空泵） | ||
