品牌
生产厂家厂商性质
深圳市所在地
| 功能特点 |
|---|
| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） | ||
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 | ||
| 气 | 设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀 | ||
| 工作台 | 尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 | ||
| 通风装置 | 需要 | ||
| 电源电压 | 220V 50Hz | ||
| 大功率 | <560W（不含真空泵） | ||
| 极限真空度 | < E-6mbar（配合本公司设备使用可达到E-5mbar） | ||
| 工作温度 | RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度） | ||
| 靶枪数量 | 2个（可选配其他数量） | ||
| 靶枪冷却方式 | 水冷 | ||
| 靶材尺寸 | Ø2″，厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） | ||
| 直流溅射功率 | 500W（可选） | ||
| 射频溅射功率 | 300W/500W（可选） | ||
| 载样台 | Ø140mm | ||
| 载样台转速 | 1rpm-20rpm内可调 | ||
| 保护气体 | Ar、N2等惰性气体 | ||
| 进气气路 | 质量流量计控制2路进气，每个流量为100SCCM | ||
| 主机尺寸 | 500mm×560mm×660mm | ||
| 整机尺寸 | 1300mm×660mm×1200mm | ||
| 重量 | 160kg | ||
| 可选配件 | 金、铟、银、白金等各种靶材 | ||
| 标准配件 | 1 | 直流电源控制系统 | 1套 |
| 2 | 射频电源控制系统 | 1套 | |
| 3 | 膜厚监测仪系统 | 1套 | |
| 4 | 分子泵（德国进口） | 1台 | |
| 5 | 冷水机 | 1台 | |
| 6 | 冷却水管（Ø6mm） | 4根 | |
| 7 | 靶材（不锈钢靶、陶瓷靶） | 各1件 | |
