GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪-深圳市科晶智达科技有限公司手机版

产品简介

GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的较简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。

详细介绍

功能特点

设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。
通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得the best
镀膜效果。
钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证*使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
已通过CE认证。

技术参数
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
电	AC220V 50Hz，必须有良好接地
气	设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）
工作台	尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通风装置	不需要
靶	Ø45mm
真空室	Ø160mm×120mm
MAX真空度	≤4×10-2mbar
靶位	3个
大电流	50mA
可设定长时间	900s
微型真空气阀	连接Ø3mm软管
MAX电压	1600V DC
机械泵	2L/s
可选配件	金、铟、银、铂等各种靶材
标准配件	1	金靶材	1个
	2	银靶材	1个
	3	铝靶材	1个
	4	进气针阀	1个
	5	保险丝	2个

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