PCE-6V 小型等离子清洗机-深圳市科晶智达科技有限公司手机版

产品简介

小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内*清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

详细介绍

功能特点

采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。。
可短时间内*清洗掉有机污染物。
清洗程度可达到分子级。
可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。
样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。
广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

技术参数
电压	AC220V 10A
消耗功率	<500W（包括真空泵）
RF电源	输出功率100W，输出频率13.56MHz
腔体	Φ190mm×98mm
细节图
石英管	Φ180mm×55mm，壁厚7mm
内腔	Φ165mm×55mm
清洗电极	Φ120mm
样品台	Φ150mm，有效尺寸Φ140mm
样品台与电极间距	15mm-50mm可调
抽气管	Φ12mm
极限真空度	0.1Pa
工作真空度	60Pa-500Pa
气路数量	2路（选装）
流量控制器数量	1、2
流量显示仪	2通道
气路接口	Φ6mm
加热样品台	Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装）
冷却水压力	0.2KPa-0.4KPa
工作环境	温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m
尺寸	245mm×235mm×460mm（不含真空泵）
重量	20kg（不含真空泵）
可选配置	● 加热样品台 ● 流量控制器（量程10、50、100，多可增加2个通道）

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