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GSL-1100X-PJF 等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统,主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件下,迅速活化和清理材料表面。例如单晶片、光学元件、塑料等广泛的材料。 为了获得高质量的外延薄膜或者光学涂层,预*行表面处理可以得到显著的效果。
功能特点 |
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技术参数 | |
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主要参数 |
● 输出频率:20-23KHz ● 等离子工作压力:0.048兆帕-0.068兆帕 ● 输入电源:110/220,50/60Hz,小于1000W
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等离子束头 |
● 离子束头:包括2个离子束头,圆头10-12mm,矩形头15-18mm ●
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输入气体压力和工作气氛 |
● 小0.275兆帕 ● 工作气氛可以是空气、氮气、氩气、混合气体(不要使用易燃易爆气体)
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工作环境 |
● 温度< 42°C ● 湿度≤ 40%RH ● 没有易燃气体
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外形尺寸 |
外形尺寸:380 (宽)×210 (高)×500 (长) mm
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净重 |
10 kg
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认证 |
CE认证
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质保期 |
● 一年保修,终身技术支持。 ● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 ● 点击查看售后服务承诺书。
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相关产品应用 |
● 这种大气等离子喷射流动系统非常适合在涂覆之前清洁塑料、聚合物和氧化物 基材表面。 ● 该设备也可用于研究常压CVD ● 欢迎订购合肥科晶的自动扫描系统,实现10"×10"区域的清洁或涂层 |