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一·出口型小型真空感应定向凝固炉设备用途:
出口型小型真空感应定向凝固炉主要包括两种功能,即可用于材料的熔化提纯,也可用于材料的定向凝固。
二·出口型小型真空感应定向凝固炉设备特点:
本设备采用立式底部升降结构,一体化设计,结构紧凑,装卸料方便,真空炉体采用石英管
三·小型真空感应定向凝固炉主要技术参数
1.加热温度: 1600℃
2.常用温度: 1400℃
3.功率: 15Kw±10%
3.冷态极限真空度: ≤5Pa
4.坩埚尺寸: Ф30×200mm(直径×高 )
5.测温系统: 红外仪控温测温
6.加热方式: 高频感应加热
7.坩埚材质:石英坩埚
8.坩埚护套:氮化硼+石英陶瓷保温套
9.坩埚升降速度:位移行程 250mm(步进电机控制)
10·炉内充气压力: ≤0.03MPa
11·充气系统: 自动充放气
四、结构组成及说明
1、石英真空腔室
2、炉底及升降装料机构
3、感应加热系统及
4、真空系统
5、控制系统
6、冷却水分配系统
三、小型真空感应定向凝固炉结构说明
1、石英真空腔室:真空密封腔室,采用石英管上下配水冷密封法兰的方式,采用径向密封的方式,上下法兰采用水冷密封法兰,保证密封性,同时也保证密封圈的受热温度在常温。炉盖水冷法兰配有真空压力表,真空抽气接口,观察窗,热偶测温装置以及放气阀、安全阀等装置。一体化设计,外形整洁美观。
2、炉底及坩埚升降机构:炉底水冷法兰与石英管腔室采用“O”圈真空密封,
坩埚升降机构:采用步进伺服电机+精密线性模组方式,电机升降系统密封均采用焊接波纹管密封,安装方便可靠。升降杆采用空心水冷结构,上面有一坩埚托盘,用来放置熔炼坩埚及保温装置。电机控制采用PLC+触摸屏方式,速度位移按照工艺要求任意设定,保证其行走速度的稳定性和位置的准确性。用于定向凝固做晶体生长使用。
4、感应加热系统:设备加热采用感应加热的方式,有一高频感应电源配合感应线圈及线圈升降装置、坩埚及保温套组成加热系统。采用感应线圈不动,内部坩埚升降移动的方式,来实现材料晶体的熔融及定向凝固。可以用来做小量材料晶体的生长制备实验。测温采用红外实时测温,坩埚底部可预留热偶测温装置,实时显示坩埚温度。
5、真空系统:由一台机械泵配真空阀门、充气阀、放气阀组成真空系统。真空管道与泵联接采用快速接头联接(减缓震动),真空测量选用具有数字显示功能的真空计执行。
6、控制系统:采用PLC+触摸屏的方式 ,所有的动作都有PLC来完成,安全可靠。功能强大,操作方便,具有超温,上线限控制声光报警功能。控制柜面板上设有液晶触模屏,可设定长晶速度、位移等,界面清晰直观,数据可记录,查询,导出,曲线数据,历史数据可实时显示,可实时观测直观各部件的工作状态,实时记录工况。
7、水冷分配系统:由循环水机及主管道、分管路、水阀、压力报警等相关装置组成,具有断水声光报警及自动切断电源等功能。
五、成套供应范围
1. 高真空腔室 1套
2. 伺服升降装置 1套
3. BN坩埚(护套) 1套
4. 热电偶 1支
5. 控制系统(plc+触摸屏系统) 1套
6.产品说明书,合格证 1份
7.循环冷水机:1P 1台