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安晟RTP红外灯管加热管式炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率大可达100°C/m。为取得较快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得较快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的理想炉子。 可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高，处于国内*水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。
安晟RTP红外灯管加热管式炉适用范围：可在真空\不同气氛\空气不同环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
| 炉体结构 | 双层铸钢外壳 |
| 连续工作温度 | 1100℃（可选择） |
| 建议升温速率 | 300℃/min |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 加热区长度 | 200mm |
| 炉管直径 | OD100 |
| 炉管材质 | 石英管 |
| 加热元件 | 红外灯管加热 |
| 密封装置 | 真空法兰 |
| 热电偶类型 | K型 |
| 温区数 | 单温区 |
| 大功率 | 18KW |
| 电源电压 | AC380V 50HZ 可根据要求定做 |
| 温控 | PID智能控温 |
| 加热曲线 | 30段可编程 |
