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安晟1200℃RTP滑动式快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率大可达100°C/m。为取得较快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得较快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。 可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构,可将外表温度降到常温。均温区长,操作简便,密封可靠,综合性能指标较高,处于国内*水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。
安晟1200℃RTP滑动式快速退火炉适用范围:可在真空\\不同气氛\\空气不同环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
产品特点:
多晶纤维炉膛,节能耐腐蚀
重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好,能满足何种快速烧结的要求。
炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工
具有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好。
双层内胆炉壳,配有风冷系统,快速升降温
整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
法兰采用双环密封技术
有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。
内嵌式合金电热丝,升温快,寿命长
加热元件采用优质内嵌式合金电热丝,发热效率高、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便,使用寿命长。
微电脑PID控制器,操作简便
操作简便,控温精确、可靠、安全多段可编程控制,可以简化复杂的试验过程,真正实现自动控制和运行。
炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了然。
高温度 | 1200℃(高温度可达1700℃) |
温区长度 | 440mm(可根据需求定制) |
恒温区 | 260mm |
炉管尺寸 | Φ60*1500mm |
温控方式 | 30段PID微电脑可编程自动控制 |
控温精度 | ± 1℃ |
温控保护 | 具有超温及断偶报警功能 |
加热速率 | 0~20 ℃ / 分 |
加热元件 | 合金加热丝 |
工作电压 | AC 220V 单项 50 Hz |
大功率 | 3KW |
净重 | 80KG |
炉膛材料 | 采用多晶陶瓷纤维,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强 |
法兰接头 | 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转 |
滑轨尺寸 | 镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度:1200mm |
测温元件 | K型热电偶测温 |
炉管材质 | 可选气炼石英炉管、刚玉炉管 |
气 密 性 | 4.03×10-3Pa |