EDWARDS爱德华EH250罗茨泵卡死维修.爱德华EH250罗茨真空泵主要是指具有一对同步、高速旋转的鞋底形转子的真空泵，但是对于其来说不可以单独抽气，前级还是需配油封、水环等可直排大气。其的泵内装有两个向相反方向同步运转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小空隙而互不接触的一种变容式真空泵。常见故障有；异响，漏油、压力不足。

产品用途：

广泛应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、太阳能、冶炼、封装测试、真空含浸、等离子清洗等行业

产品特点：

1、启动快，耗功少，运转维护费用低，抽速大、效率高；

2、被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感，在100～1帕压力范围内有较大抽气速率，能迅速排除突然放出的气体；

3、泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；

4、泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

5、转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙

6、不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

安静的无振动运行。牢靠且防腐蚀。*的轴封技术，处理舱中不会出现油污染、防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造

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