POLOS系列冲洗甩干机

POLOS200/300/450POLOS系列冲洗甩干机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-05-20 20:20:03
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北京中兆国仪科技有限公司

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产品简介

POLOS系列冲洗甩干机湿法刻蚀又称为湿化学刻蚀法。它主要是借助刻蚀剂与待刻材料之间的化学反应将待刻膜层溶解，以达到刻蚀的目的。湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节

详细介绍

OLOS系列冲洗甩干机

适用工艺(包括但不限于下述湿法制程)

  光刻胶显影

   SU8厚胶显影

   显影后清洗

   光刻机去除

   刻蚀微刻蚀处理

OLOS系列冲洗甩干机

系统参数表

 

POLOS 200 Advanced

POLOS 300 Advanced

POLOS 450 Advanced

   程序段数：

无限制

无限制

无限制

   操作步数：

无限制

无限制

无限制

   旋转速度：

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-1500rpm ±1rpm  steps

   旋转精度：

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

   旋转方向:

顺时针、逆时针、交换摆动

顺时针，逆时针、交换摆动

顺时针，逆时针、交换摆动

   zui大加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

≤1500rpm时取决于负载

   旋转时间：

无限制*, ± 0.1S steps

无限制*, ± 0.1S steps

 

   基片范围:

260mm 直径or  6ʺ 方片

360mm 直径or  8ʺ 方片

460 mm直径or350mm方片

   腔体直径：

302 mm

402 mm

502mm

   外形尺寸：

OLOS系列冲洗甩干机

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