AgilentHLD移动式氦气检漏仪介绍：

AgilentHLD MR30氦气检漏仪采用于检测氦气的质谱仪，以氦气作为示踪气体来定位和/或测量封闭设备或系统中的微小泄漏。移动式 HLD MR30 既是一款精密的仪器，也是一款耐用的主力仪器，具有简便易用的触摸屏界面和菜单结构，便于用户快速利用其强大的检漏功能。内置的应用设置可缩短测试循环，可保存设置以确保重复性。四个轮子可轻松滚动到合适位置。MR30 包括 Agilent DS-602 旋片泵，抽气速率为 30 m3/h，用于极快排空测试部件和系统，并在测试循环之间快速净化环境氦气。

Agilent移动式氦气检漏仪特点：

• 六个不同的应用设置向导有助于您将仪器正确地配置以获得优异性能，确保恰当地设置参数以便完整、有效地进行测试。
• 触摸屏界面更大、更耐用且响应更灵敏，能够 180° 旋转，非常便于查看。
• 更明确、更直观的用户界面。提供常用功能的快速访问以及扁平的菜单结构，方便您快速查找所需设置。
• 开机向导能够帮助用户在*接通电源后对仪器进行设置。
• 增强的图表功能：便于仔细检查数据的放大模式、彩色标记的设定值以及记录泄漏速率和压力的时间曲线。
• 更大的工作面积为需要测试的部件和工具等提供了充足的空间。
• 经改善的关机程序能够使检漏仪处于真空环境并保护涡轮分子泵。
• 更强的机动性有助于更轻松到达半导体生产线或其他生产环境中狭窄的服务区域和范围。

AgilentHLD MR30性能指标：

氦气检漏仪检漏方法：

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里*的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。