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面议安捷伦涡轮分子泵TwisTorr 84 FS简介:
采用 TwisTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动级技术能提高小分子气体(如氢气和氦气)压缩比,从而实现大抽气量和城耐受高前级压力,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证轴承工作条件,从而能延长工作寿命,减少系统停机时间,并能确保长时间稳定性。TwisTorr 84 FS 泵*的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
安捷伦涡轮分子泵TwisTorr 84 FS特点:
技术参数:
抽速:CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置:CFF 2.75 英寸 配置:KF 40 配置: |
N2:56 L/s N2:49 L/s |
He:46 L/s He:38 L/s/ |
H2:40 L/s H2:36 L/s |
Ar:57 L/s Ar:44 L/s |
全转速气体流量(使用*的前级泵) | N2:100 sccm | Ar:70 sccm |
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压缩比: | N2:≥ 1 × 1011 | He:2 × 106 | H2:5 × 104 | Ar:> 1 × 1011 |
极限真空*(使用*的前级泵) | < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) |
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入口法兰 | CF 4.5 英寸(外径) | ISO 63 |
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前级管道法兰 | KF 16 NW |
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转速 | 81000 rpm(驱动频率 1350 Hz) |
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启动时间 | < 2 分钟 |
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*的前级泵 | 机械:DS 40M-DS 102 |
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工作位置 | 任意位置 |
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操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C |
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空气相对湿度 | 0 至 90%(非凝缩) |
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烘烤温度 | 入口法兰极限温度 120 °C(CFF 法兰) 入口法兰极限温度 80 ℃(ISO 法兰) |
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润滑油 | *性润滑 |
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冷却要求 | 风冷: | 气流温度 +5 °C 至 +35 °C |
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噪音压力级别(全速运行时距离 1 m 处) | 40 dB(A) * |
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储存温度 | -40 °C 至 +70 °C |
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产品应用极限海拔 | 3000 m |
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认证 | CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 |
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重量 kg(磅): | 泵 ISO 63: | 泵 CFF 4.5 英寸: | 泵 CFF 2.75 英寸: | 泵 KF 40: |