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测量显微镜107JPC
一、用途:
107JA测量显微镜,采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于大规模集成电路线宽以及其它精密另件测量。广泛地适用于计量室,生产作业线以及科学研究等部门。
在107J基础上加装光栅测量尺,数据采集系统,将测量数据导入计算机进行数据处理,可进行各种复杂的二维几何测量。是光、机、电一体化的高科技精密测量仪器。
二、技术规格
镜筒 | 粗 动 | 调节范围 90毫米 | |
微 动 | 调节范围 2毫米 | ||
高(Z)测量 | 1毫米zui小读数0.001毫米(干分表读数) | ||
镜 筒 | 双目镜筒 俯角45° | ||
工作台 | 左右(X轴) | 移动范围50毫米 | |
前后(Y)轴 | 移动范围50毫米 | ||
分 辨 率 | 1微米 | ||
旋 转 | 360° | ||
照明系统 | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 蓝、绿滤色片 |
反射照明 | 8V-12W 磨砂灯泡 绿色滤色片 | ||
斜照明 | 8V-15W | ||
电 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | ||
光学系统 | 目 镜 | BWF 10X | |
物 镜 | 4X 工作距离17.5 焦距28.8 | ||
10X 工作距离11.6 焦距15.4 | |||
40X 工作距离0.66 焦距4.4 |
本仪器采用光栅尺和数据箱,并配有计算机图象处理系统。还可选配增加视频图像系统,在计算机屏幕上直接瞄准。
通过计算机接口和二维测量程序可使被测工件的轮廓直接构图在计算机屏幕上,由AutoCAD进行编辑。
二维测量程序包括点、线、园、弧、直线度、园度、螺纹、凸轮等测量功能。
本仪器放大倍数高,工作台除作X,Y坐标的移动外,还可以作360°的旋转,亦可以进行高度方向Z坐标的测量。照明系统除作透、反射照明外,还有斜光线照明。
测量显微镜107JPC