石墨化炉
型号：ZT-180-16

详细描述

一、设备主要用途

主要用于多晶硅生产线中后处理设备，系为还原炉石墨电极后处理之用，当石墨电极经酸洗、高温烘干后残余水气、氯化盐等需经高温真空煅烧并由载气排出炉外。设备分顶部装料及底部装料二种炉型供选购，配有ＰＬＣ及人机界面可实现全自动运行。底装料由于其操作方便，脱气功能强更受欢迎。一炉大装载量：350套石墨电极。

二、主要技术参数

1. 额定功率：120KW，180KW

2. 工作区尺寸：Φ500×550（石墨管加热）

Φ800×550（石墨棒加热）
3. 高温度：1650℃

4.极限真空度：6*10-3Pa
5.保护气氛：氩气或氮气
6.大装载量：350套石墨电极
7.生产周期：50小时/炉

三、结构说明
由炉盖、炉体、炉底、炉架及平台、真空系统及电控系统等组成。
特点：炉内安装纯化石墨，2000度处理的石墨毡等组成保温层。
全自动生产模式，长寿命热电偶控温，多点监视温度，底装式方式操作方便，上炉盖也能打开，维修方便。