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线纹尺是一种具有等分刻度的多值量具,它是以任意两条刻线间的垂直距离确定其长度的一种高精度基准器和标准器。通过它可以把精密仪器及各种精密零件的尺寸与“米”定义基准器所复现的长度起来,从而达到量值统一的目的。
一、线纹尺检定台介绍:
误差来源主要有:(1)激光波长的检定误差及稳频误差;(2)测量折射率的误差;(3)测量线纹尺温度的误差;(4)线纹尺的材料线膨胀系数误差。
在激光干涉法检定线纹尺时,实际上测得的是被测长度和所测波长的比值,由于激光给定的波长都是真空中的波长。因此,在检定时需要将真空中的波长换算为实际工作状态下的波长,得到在测量状态下的空气折射率。空气折射率与气压、温度、湿度以及大气成分有关,并且不同波长的激光在空气中的折射率也不一样,经过计算得到:
二、测量长度为1m时:
温度Δt=0.1℃,ΔLt≈92nm
气压Δp=1Pa,ΔLp≈3nm
湿度Δf=1Pa,ΔLf≈0.4nm
通过以上分析,可以得出以下结论,无论是采用干涉仪测量还是二等标准金属线纹尺比较测量,环境温度稳定和准确是保证测量结果可靠zui重要的因素,而温度对其测量结果影响的大小,又取决于线纹尺材料的膨胀系数。
此外,由于材质以及本身结构的原因,线纹尺在送检及运输过程中极易变形,从而产生误差,虽然其为二次误差,对测量结果影响不大,但由于三等金属线纹尺的尺底平直度在测量过程中引起的刻线影像模糊,从而在主观上产生的测量误差也是在检定工作中值得注意的问题。
三、线纹尺检定台的比较检定
误差的主要来源有:(1)标准尺的检定误差;(2)显微镜的对准误差及调整误差;(3)线纹尺的安装误差;(4)标准尺与被检尺温度的测量误差;(5)线纹尺材料线膨胀系数的测量误差等。
在上述误差主要来源中,两尺温度的测量误差是各种误差因素中zui为显著的,尤其是在线纹尺的温度膨胀系数较大的情况下,若温度测量稍不准确,就会带来较大的测量误差。
类似钢卷尺检定台检测钢卷尺线纹也是采用线纹比较法。在采用比较法检定线纹尺时,如标准尺的温度为20.4℃,线膨胀系数为10.8×10-6℃-1,被检尺的温度为20.4℃,线膨胀系数为16.6×10-6℃-1,则相对于20℃时标准尺会增加4.32μm,被检尺会增加9.96μm,可以通过计算消除这部分误差,但如果使用的贴附式温度计的不确定度为0.1℃,则会产生5.8μm的测量误差。
在其他因素中,比如导轨直线度,如果在工作台移动过程中在垂直内产生2″的倾斜,在水平方向产生5″倾斜,两读数显微镜的视轴距离为1100mm,则由此产生的测量误差仅为0.4μm。可见相对于温度比较,其对测量结果影响很小。因瓦水准标尺每米间隔真长的测定, 是确保水准测量精度的重要环节。多年来一直是按规范规定使用锌白铜合金制的线纹米尺进行测定。实践证明采用这种测定方法存在不少缺陷, 如线、纹米尺的膨胀系数为1 6 . 6 、1 8 , 5微米/度·米, 而因瓦水准尺的膨胀系数为1 *2 微米/ 度。米, 两者的精度很不相配, 显然其检定精度是满足不了高精度水准测量的需要。再者, 用线纹米尺检定因瓦水准尺时, 是将线纹米尺平放在水准标尺的因瓦带上, 使因瓦带失去常态受压弯曲变形, 产生系统误差, 这些都直接影响一等水准测量成果的精度。