预抽真空炉主要由炉壳、炉衬、炉罐、炉盖、快冷装置、加热元件、测温元件和抽真空组件等部分组成。
预抽真空炉炉壳由钢板、角钢圈卷成圆筒和圆环形后焊接而成，钢板采用优质Q235-A壁厚5mm，衬采用优质高纯硅酸铝耐火纤维折叠块，用耐热钢锚固件固定，可避免气流对纤维的冲刷。这种全纤维炉衬可确保炉壳外壁温升小，炉衬蓄热量少，升温快，节能*，使用寿命长。电热元件采用0Cr27Al7Mo2高电阻带材绕成之字形，安装在炉墙耐火纤维折叠块上。炉罐采用Cr25Ni20Si2奥氏体耐热钢制成，炉罐的一边设有抽真空接管，管径为1.5＂，炉罐的另一边配有一条管路，由一只不锈钢球阀控制N₂的进入，管路上设有止阀门、充气阀、放气阀、真空计。将需要处理的零件摆放在炉罐的吊具内。炉内设有循环风扇，供搅拌气氛、温度用，从而使炉内气氛、温度均匀，保证产品的质量。
炉罐采用进口材料SUS310S（壁厚为8毫米）耐热钢板焊接而成，（不配导风套），底部配封头。
炉盖上设有真空压力表、热电偶座、安全阀、排气管。在排气管上设有高真空蝶阀，口径为¢20。真空压力表带有压力变送器，如炉内压力超过一定值可有声光报警相连，并且装有安全阀进行二次保护。炉罐与炉盖采用手轮梯形螺杆压紧方式，双圈密封，内圈用石棉绳，外圈用形“O＂真空橡胶管，另采用强制水冷确保形“O＂真空橡胶管不致过早焦化损坏。还有一个密封热电偶测温座，用于测定炉罐内温度之用，可上下调节热电偶位置。为了缩短工艺周期，加快降温速度，在炉底侧面装有鼓风机，强制快冷，并通过在炉壳上部排气孔排风散热。