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参数说明：
| 型号 | JTL-1090 | JTL-1110 | JTL-1312 | JTL-1613 |
| 真空室尺寸 | Φ 1000Χ900mm | Φ 1100Χ1000mm | Φ 1300Χ1200 mm | Φ 1600Χ1300 mm |
| 镀膜方式及主要配置 | 3个电弧+平面矩形阴极2对 | 6个电弧+圆柱阴极2对+平面矩形阴极1对 | 6个电弧+圆柱阴极4对+平面矩形阴极1对 | 8个电弧+圆柱阴极8对+平面矩形阴极1对 |
| 镀膜种类 | 金属膜，介质膜，化合物膜，反应膜，多功能层次膜 | |||
| 电源 | 电弧电源，真空磁控电源，中频磁控电源，脉冲偏压电源，离子源电源 | |||
| 真空室结构 | 立式前（单）开门，后置抽气系统，双层水冷 | |||
| 真空系统组成 | 分子泵（扩散泵）+罗茨泵+机械泵 | |||
| 极限真空 | 8.0Χ10-4 | |||
| 抽气时间 | 大气抽至3Χ10-3Pa≤15min | |||
| 工件运动方式 | 公 /自转，变频调速 | |||
| 工件烘烤温度 | 常温到 350oC可调可控 | |||
| 控制方式 | 全自动化控制 PC+PLC/PC+HMI | |||
| 备注 | 该设备可按客户产品及特殊工艺要求订做 | |||
