中频磁控镀膜设备

中频磁控镀膜设备

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具体成交价以合同协议为准
2023-10-24 11:53:22
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东莞市汇成真空科技有限公司

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产品简介

本公司主营产品:真空镀膜设备;蒸发磁控溅射镀膜设备;多弧离子镀膜设备;环保电镀设备;真空表面处理设备;PVD离子镀膜设备;中频磁控多功能真空镀膜设备;金属电镀设备;蒸发镀膜设备;塑料电镀设备。

详细介绍

该系列设备主要集中频磁控溅射、电弧离子蒸发和离子源及脉冲偏压结合等技术为一体,实行全自动化控制。此设备广泛应用于表带、表壳、手机壳、五金、餐具等工件上镀制 TiN,TiC,TiCN、TiAIN,CrN,Cu,Au,Al2O3等各种装饰膜层。

参数说明:

型号 JTL-1090 JTL-1110 JTL-1312 JTL-1613
真空室尺寸 Φ 1000Χ900mm Φ 1100Χ1000mm Φ 1300Χ1200 mm Φ 1600Χ1300 mm

镀膜方式及主要配置

3个电弧+平面矩形阴极2对 6个电弧+圆柱阴极2对+平面矩形阴极1对 6个电弧+圆柱阴极4对+平面矩形阴极1对 8个电弧+圆柱阴极8对+平面矩形阴极1对

镀膜种类

金属膜,介质膜,化合物膜,反应膜,多功能层次膜

电源

电弧电源,真空磁控电源,中频磁控电源,脉冲偏压电源,离子源电源

真空室结构

立式前(单)开门,后置抽气系统,双层水冷

真空系统组成

分子泵(扩散泵)+罗茨泵+机械泵

极限真空

8.0Χ10-4

抽气时间

大气抽至3Χ10-3Pa≤15min

工件运动方式

公 /自转,变频调速

工件烘烤温度

常温到 350oC可调可控

控制方式

全自动化控制 PC+PLC/PC+HMI

备注

该设备可按客户产品及特殊工艺要求订做

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