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数字式电阻率测试仪 号:M-2
运用四探针测量原理的多种用途综合测量装置,它可以测量片状,块状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(也称方块电阻)。换上特制的四探针测试夹具,还可以对金属导体的低,中值电阻进行测量
是运用四探针测量原理的多种用途综合测量装置,它可以测量片状,块状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(也称方块电阻)。换上特制的四探针测试夹具,还可以对金属导体的低,中值电阻进行测量。
仪器由主机,测试探头(可选配测试台)等部分组成,测试结果用数字表头直接显示。主机主要由数控恒流源,高分辨率ADC,嵌入式单片机系统组成,自动转换量程。测试探头采用高耐磨碳化钨探针制成,定位准确,游移率较小,寿命长。
仪器适用于半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位,高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的场合.
工作条件为:
温度:
相对湿度: 60% ~ 70%
工作室内应无强电磁场干扰,不与高频设备共用电源
数字式电阻率测试仪 技术参数
1. 测量范围:
电阻率:10 -2 ~ 102Ω-cm
方块电阻:10 -1 ~ 103Ω/□
电阻:10 -3 ~ 9999Ω
2. 可测半导体材料尺寸
直径:15mm-100mm
长(或高)度:≤400mm
3. 测量方位:
轴向,径向均可
4. 数字电压表
量程:2V
误差: :± 0.1% FSB ± 2LSB
大分辨力:10μA
精度: 18位ADC ( 5 1/2 位)
显示:4位数字显示,小数点自动显示
5. 数控恒流源
电流输出: 直流电流 2μA~ 2mA, 2μA步进可调,系统自动调整。
误差:± 0.1% FSB ± 0.5LSB
6. 四探针测试探头:
探针间距: 1mm
探针机械游移率:± 1%
探针:碳化钨,直径0.5mm
7.电源:
DC 4.5V ~8V
功耗: < 1W
电源适配器:输入: 220V±10% 50Hz
输出:DC5V ± 10%
8. 外形尺寸:
主机: 170mm (长) X 130mm (宽) X50mm(高)
红外线快速水分测定仪 速水分测定仪 外快速水份仪 型号:FY-20 |