双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50-5Z

炉体结构

 该化学气相沉积设备采用双层壳体并带有风冷系统，使其炉体表面温度都小于55℃

 炉底安装一对滑轨，可手动滑动，以便满足特殊工艺的快速升降温的求。

炉管尺寸

Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。)

功率

5kW

输入电压

220VAC 单相 50/60Hz

加热元件

Cr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金）

zui高温度

zui高温度：1200℃ 

额定温度：1100℃

升温速率

 ≦10℃/min（*）

加热区长度度

    化学气相沉积设备两个加热区的长度都是200mm

    分别由独立的温控系统控制

恒温区长

     100+100mm（±1℃）

     可获得较长恒温区间

控温精度

     ±1℃

快速连接法兰

     Φ50快结式不锈钢真空法兰

     打开法兰直接卸下卡箍即可，取放样品方便
  另配备有可调节高度的法兰支架

五路质子流量控制系统

MFC-5Z

电压

 220VAC  单相  50/60Hz

针阀材质

 316不锈钢

量程

 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根据工艺要求提供多种量程选择）

工作温度

 5～45℃

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 700(H) mm

电压

 AC220V/50Hz单相

功率

 23W

真空系统

LVU-10

壳体尺寸

     600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

zui大承载量

     1000 Lbs 

抽气速率

      10m³/h

    极限真空度：10^-1Pa

    双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接

质保期

一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈加热元件等易耗件

使用注意事项

     炉管内气压不可高于0.02MPa     

    当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

    石英管的长时间使用温度＜1100℃

    对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）