holmarc Variable Angle Laser Ellipsometer可变角度激光椭偏仪是一种非常灵敏的光学技术，可为薄膜计量提供的功能。椭偏仪利用光的相位信息和偏振态，因此可以实现埃级分辨率。椭偏仪的主要优点是无损检测，灵敏度高和测量范围广。可以通过这种技术精确地确定薄膜的光学参数，例如厚度和折射率。

在椭圆仪型号：HO-ED-P-06中，使圆偏振光入射到测试基板上，并分析线偏振的反射光的偏振变化。

该仪器包括两个同心旋转的臂，这些臂围绕着固定在较重基座上的精确刻度的圆盘。激光源固定在一个臂上，检测器组件固定在另一臂上。通过游标卡尺，刻度盘的刻度为1°，分辨率为0.1°。激光源和检测器的电源分开放置。偏振器，检偏器和四分之一波片被固定在光路中的精密旋转台中，刻度范围为0-360°，分辨率为0.1°。格兰-汤普森棱镜用于偏光镜和检偏镜。

图椭圆机的工作原理图
 

将样品放置在高精度千分尺驱动的垂直工作台上，高度调整范围为10 mm，分辨率为0.01 mm。激光源的入射角可在30°至90°之间调节。对于零点方法，如果需要，可以用微型屏幕代替检测器，以便目测确定零点。

如图所示，随机偏振的激光（532nm）通过偏振器，该偏振器将光的偏振从随机偏振改变为线性偏振。然后，线性偏振光穿过四分之一波片（将快轴设置为45度），该偏振片将偏振状态从线性更改为圆形。从样品薄膜反射后，圆偏振光变为线性偏振，分析仪测量偏振度。

技术指标
 

测量范围：1 nm〜300 nm

入射角：30°〜90°，误差≤0.1°

旋转范围

偏光镜：0°〜360°

四分之一波：0°〜360°

分辨率：0.1度

激光：DPSS（532nm，5mW）

激光臂

旋转范围：70度（从水平面开始）

主要规模：1度

分辨率：0.1度

探测器

类型：硅光电二极管

有效面积：5.8 x 5.8毫米

探测器臂

旋转范围：70度（从水平面开始）

主要规模：1度

分辨率：0.1度

样品架

高度调节范围：10毫米

驱动器分辨率：10微米

倾斜范围：+/- 2度