SMX-BEN台式X射线荧光光谱薄膜成分、薄膜厚度测量系统

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产品特色∶
1.针对薄膜太阳能电池生产过程研发、工艺开发、失效分析过程而设计，有效减低成本，提供产品品质。
2.超大样品室，高：56厘米、宽：54厘米、长：74厘米。
3.针对CIGS各种镀层材质的*滤波器，共5种
4.样品台X-Y-Z三轴自动定位，移动范围20 x 20 x 15cm，带防撞保护、自动聚焦、LED灯照明功能。
5.微聚焦、带铍窗、高性能X射线源
6.采用高科技的高灵敏度的硅PIN检测器，灵敏度高，寿命长。
7.配多规格圆形及矩形电机驱动定位准直器
8.辐射安全保护装置
9.Mira XRF软件系统功能强大，具备数据分析、传输及以太网功能

SMX-BEN 属高阶的薄膜太陽能電池分析儀
薄膜太陽能電池CIGS/CdTe分析儀
可分析范围：
（1）分析CIGS各鍍層的厚度及成份同時測量。
（2）分析CdTe之各鍍層的厚度及成份同時測量。
（3）三、五族元素各鍍層的成分比例及厚度分析

技术参数
zui大50kV，多段電壓切換
4-1000μA，可做自動調整設定
共五個滤波器，自动切换
电冷式侦测器