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LoPro 双级阀门
为了在有限的空间条件下实现系统的软抽真空,我们*使用 HPS 的 LoPro 双级阀门,它将一个低高度的隔离阀和一个小的旁通阀相集成,很大地简化了系统的安装并降低了成本。
LoPro双级阀特别适合在高真空中应用,尤其是应用在需要洁净环境的半导体或光学加工工艺中。该阀门具有慢速抽空的特点,减小了湍流,从而防止了沾污的产生和对产品的破坏。本页列出的该系列阀门有ISO-KF NW 25法兰、0.225 英寸旁通阀口径和Viton密封等类型,也可选择其它配置,请客户服务部门以获取更多的信息。需要更大尺寸的阀门,可参阅 NW40 或 NW50 LoPro 软启动双级阀或其他MKS的.
注:订购时,请在订货单的注释部分写明所需的气动电磁阀电压( 24 VDC, 24 VDC, 120 VDC, 208 VDC, 220 VDC)
零件编号 示例:LPV2-25-AK-225-CLVNH-120
LoPro NW 25
阀体配置 | 旁通阀孔径 | 调节器类型(旁通阀) | 限位开关(主阀) | 密封类型 | 温度配置 | 控制端口选择 |
LPV2-XX-XX | XXX | X | X | X | XX | XXX |
零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 |
LPV2-25-AK | 225 | C | L | V | NH | 24A |
KF 25 角阀 | 0.225" | 常闭 | 有限位开关 | Viton® | 常态 | 24 Volts AC |
LPV2-25-IK |
| V | N | Z |
| 24D |
KF 25 直阀 |
| 翼形螺栓 | 无限位开关 | Chemraz® |
| 24 Volts DC |
LPV2-25-AC |
| M |
|
|
| 120 |
CF 2 1/8" 角阀 |
| 测微计头 |
|
|
| 100/120 Volts AC (50/60 Hz) |
LPV2-25-IC |
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| 208 |
CF 2 1/8" 直阀 |
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| 208 Volts AC |
LPV2-25-AT |
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| 240 |
1" 管道角阀 |
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| 240 Volts AC |
LPV2-25-IT |
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| None |
1" 管道直阀 |
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| 主阀: 1/8" NPT-F |
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| 旁通阀: 10/32 UNF-F |
LoPro (续)
LoPro NW 40
阀体配置 | 旁通阀孔径 | 调节器类型(旁通阀) | 限位开关(主阀) | 密封类型 | 温度配置 | 控制端口选择 |
LPV2-XX-XX | XXX | X | X | X | XX | XXX |
零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 |
LPV2-40-AK | 225 | C | L | V | NH | 24A |
KF 40 角阀 | 0.225" | 常闭 | 有限位开关 | Viton® | 常态 | 24 Volts AC |
LPV2-40-IK |
| V | N | Z |
| 24D |
KF 40 直阀 |
| 翼形螺栓 | 无限位开关 | Chemraz® |
| 24 Volts DC |
LPV2-40-AC |
| M |
|
|
| 120 |
CF 2 3/4" 角阀 |
| 测微计头 |
|
|
| 100/120 Volts AC (50/60 Hz) |
LPV2-40-IC |
|
|
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| 208 |
CF 2 3/4" 直阀 |
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| 208 Volts AC |
LPV2-40-AT |
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| 240 |
1 1/2" 管道角阀 |
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| 240 Volts AC |
LPV2-40-IT |
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| None |
1 1/2" 管道直阀 |
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|
| 主阀: 1/8" NPT-F |
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| 旁通阀: 10/32 UNF-F |
LoPro NW 50
阀体配置 | 旁通阀孔径 | 调节器类型(旁通阀) | 限位开关(主阀) | 密封类型 | 温度配置 | 控制端口选择 |
LPV2-XX-XX | XXX | X | X | X | XX | XXX |
零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 | 零件编号 |
LPV2-50-AK | 225 | C | L | V | NH | 24A |
KF 50 角阀 | 0.225" | 常闭 | 有限位开关 | Viton® | 常态 | 24 Volts AC |
LPV2-50-IK |
| V | N | Z |
| 24D |
KF 50 直阀 |
| 翼形螺栓 | 无限位开关 | Chemraz® |
| 24 Volts DC |
LPV2-50-AC |
| M |
|
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| 120 |
CF 3 3/8" 角阀 |
| 测微计头 |
|
|
| 100/120 Volts AC (50/60 Hz) |
LPV2-50-IC |
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|
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| 208 |
CF 3 3/8" 直阀 |
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| 208 Volts AC |
LPV2-50-AT |
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| 240 |
2" 管道角阀 |
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| 240 Volts AC |
LPV2-50-IT |
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| None |
2" 管道直阀 |
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| 主阀: 1/8" NPT-F |
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| 旁通阀: 10/32 UNF-F |