MKS真空计

产品特点：

● 集成了微电子和2个真空计于一体，大大节约了空间
● 超宽的测量范围从10ˉ5Torr到1500Torr
● 较经济的替换成本
● 由于910快速，准确和重复性的压力测量较小了工艺周转的时间
● 非常容易进行模拟输出和数字通讯
● 简易的安装于任何位置和方向
● 结合了半导体LOADLOCK的应用
● 可以抵御大气压的冲击和振动
● 不受气体种类的影响，压电陶瓷规可以准确测量大气压的压力
● 3个设定点提供了快速地稳定地工艺控制
● 符合欧洲CE，EMC标志
技术参数：
测量范围：1.0*10ˉ5 到1,500Torr 或1.3*10ˉ5 到2000Mbar 或1.3*10ˉ3 到200，000Pa
设定点范围：1.0*10ˉ4 到1,500Torr 或1.3*10ˉ4 到2000Mbar
或1.3*10ˉ2 到200，000Pa；有3个设定点。
校准气体： 空气，氩气，氦气，氮气，氢气，水蒸汽
周围环境温度：0-40℃
可烘烤温度： 85℃
数字通讯模式：RS485或RS232
调变点响应时间：压电陶瓷规：≤25毫秒
微皮拉尼规：≤300毫秒
电源要求：10 到 30VDC，150 毫安，1.5瓦
模拟输出: 1 到 9 VDC，
重复性：

大气压到 10ˉ2Torr 1%；
10ˉ3 Torr 时 5%；
10ˉ4 Torr 时 10%；
测量精度：

1000Torr 到 10Torr 1%
10Torr 到 10ˉ4Torr 10%
过压限制: 1500 Torr
安装方向：任意方向
内部容积： 0.65CM3
材料： 304 不锈钢
重量：209 克

MKS真空计