B-A 型皮拉尼电容膜片真空计   皮拉尼热电离电容薄膜3合1B-A型真空计

TripleGauge® BCG450

INFICON B – A 型皮拉尼电容薄膜真空计, BCG450, 将三种不同的真空计

组合在一个小型, 经济的真空规管中, 测量过程压强和基本压强 5 x 10-10

至 1500 毫巴 （3.75 x 10-10 至 1125 乇）. BCG450 用于取代三种传感器

（热离子, 对流增强型皮拉尼和真空开关）, 从而节省成本和宝贵的工具空间.

优 势

■ BCG450 节省成本和设备空间, 降低真空测量的安装与设置的复杂性

■ 10 乇以上的与气体类型无关的压强测量, 对许多混合气体提供更可靠的 自锁控制

■ 皮拉尼联锁保护热灯丝, 防止过早烧毁

■ 自动的高真空和大气压皮拉尼调整, 无需操作人员干预

■ 相对于大气压的差压测量, 免除了与大气压变化有关的不稳定性

■ 传感元件容易更换, 内置校准数据保证数据的再现性

■ 可选图形显示器和 Fieldbus 接口

用 途

■ 半导体工艺, 传送和自锁室的压强测量

■ 工业镀膜

■ 低至高真空范围中系统的一般真空测量和控制

皮拉尼热电离电容薄膜3合1B-A型真空计